中文名 | 真空及缓冲气体控制系统 | 产 地 | 中国 |
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学科领域 | 电子与通信技术 | 启用日期 | 2019年12月9日 |
所属类别 | 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备 |
本套系统专门为碱金属气室键合研制,能够严格保证无氧无水,且可以实现多路缓冲气体成分气压可控,且性价比高。
真空系统:大气状态下15分钟内可达到<1×10-2Pa;可通入两路可控气体(N2 和Ne)最高可达100torr下完成键合。
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一般需单独计算。垂直立线这一段一般是采用金属软管敷设的。
主要适用于计算机房、通讯机房、配电房、油浸变压器、自备发电机房、图书馆、档案室、博物馆及票据、文物资料库等场所
介绍因某厂真空泵大气喷射器,一直未投入使用,对其进行改造情况的分析和比较。该装置的改造方案实施后表明:改造后的抽真空系统降低了真空泵电机的出力,充分利用了设备,获得了较好的经济效益,提高了设备的自动化水平。
本文论述了为了远程测量和控制多路设备温度,采用一种积分电路精确测量PT100热电阻的阻值。同时采用AT89C51单片机对所得数据进行非线形补偿,并通过RS-485总线接口,将所获得数据传送上位机,以便真空控制系统的联网控制。
本实用新型涉及一种气体缓冲器。其特征在于:负荷开关在分闸时产生的电弧,通过动触头向下运行过程中产生的压缩气体进行灭弧,动触头在向下运动过程中产生的冲击力关系到负荷开关的寿命与机械强度,通过本实用新型气体缓冲器,可大大降低动触头运动过程中对底部产生的冲击力,使其在接近底部时,撞击力能量基本减弱为零。本实用新型气体缓冲器安全、可靠。
气体吸收类型:水平式WRD旋转液体气蚀器 气体吸收装置转速:30rpm 气体吸收效率≥99.7% (提供样本说明书验证) 气体吸收装置容量(以SO4计):800ug/m3(提供样本说明书验证) 气溶胶部分由蒸汽喷射气溶胶收集器(SJAC)收集 气溶胶吸收装置吸收效率:≥99.7% (提供样本说明书验证) 气溶胶吸收装置控温范围:140℃±20℃(具有自动调节功能)。
专利类型:新型
专利号:200920001240
专利申请日:2009/01/16
公开(公告)号:
公开(公告)日:
分类号:H01H 33/88;H01H 3/60
申请(专利权)人:北京维益埃电气有限公司;钱璿
发明(设计)人:钱璿;荣天生;邱长江;翟鹏飞;赵海花
申请人:北京维益埃电气有限公司;钱璿
国别省市:11[中国|北京]
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