有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法

第1章 绪论

1．1 研究背景、目的及意义

1．2 推力波动抑制的国内外研究现状及分析

1．3 主要研究内容

第2章 推力波动分析及反馈控制系统设计

2．1 直线电机推力波动分析

2．2 直线电机建模及反馈控制器设计

2．3 本章小结

第3章 推力波动数据采集及辨识

3．1 推力波动数据采集方案设计及试验结果

3．2 推力波动辨识方法研究

3．3 查表补偿方法研究

3．4 本章小结

第4章 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法研究

4．1 迭代学习前馈补偿方法理论分析

4．2 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法仿真研究

4．3 基于逆模型迭代学习前馈的推力波动补偿方法实验验证

4．4 本章小结

第5章 基于扰动观测器的推力波动补偿方法研究

5．1 基于传统扰动观测器的推力波动补偿方法研究

5．2 改进扰动观测器设计

5．3 基于改进扰动观测器的推力波动补偿方法实验验证

5．4 基于改进扰动观测器 迭代学习的推力波动补偿方法研究

5．5 本章小结

结论

参考文献

当今时代，永磁直线电机在高速度、高精度、高载荷的运动控制中应用广泛，同时也带来了更多的模型不确定性和更强的外部扰动问题。因此，兼顾高动态和高精度的运动控制指标，降低上述问题带来的影响是至关重要的。

《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。

《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》可作为从事精密机电系统研发的科研人员和工程师的参考书。

该无推力补偿器的问世，无疑是热力管道补偿器产品的一项突破性前进。它不仅为补偿器的生产开拓了新的领域，更重要的是它不但解决管道内存在工作介质推力的致命弱点，同时也解决了旁通管式无推力补偿器应力过于集中，介质阻力大弊端。

无推力自密封旋转补偿器：由变径管、内套管、密封座外套、柔性石墨填料、螺母螺栓N个压簧及N个注填料咀组合、填料压盖及弹簧压紧法兰构成：所述填料压紧法兰与压紧上法兰之间设有压簧和注填料咀。

所选用的密封填料都是柔性石墨，所采用的级别分别为核级、工业精密级且无推力自密封旋转补偿器填料内增加了一些抗氧化剂成份达到延缓填料氧化的时间，从而使无推力自密封旋转补偿器比普通旋转补偿器密封性能得到很大的提高，使产品密封发生泄漏时间延迟发生。