氧化锌铝磁控溅射靶材

本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位：宁波森利电子材料有限公司。 本标准参与起草单位：宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司、世泰科特种材料（太仓）有限公司（排名不分先后）。

本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。

本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。

本标准主要起草人：杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈、夏黎海。

磁控手电筒具有体积小，结构简单、重量轻、耗电少、感应灵敏、抗腐蚀性好、寿命长、防水能力强，使用方便，价格便宜等诸多优点。 如MCOBEAM CK11和MCOBEAM CK13，都是性能不错的磁控手电筒。

基本介绍

项目编号Plan Name in Chinese 20110426-T-610

中文项目名称Plan Name in Chinese 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

英文项目名称Plan Name in English High Purity Aluminum and Aluminum Alloy Sputtering Targets for Electronic Thin Film Application

制\修订Plan Name in English 制定

被修订标准号Replaced Standard

采用国际标准Adopted International Standard 无

采用国际标准号Adopted International Standard No

采用程度Application Degree

采标名称Adopted International Standard Name

标准类别Plan Name in English 产品

国际标准分类号(ICS)

计划完成年限Suppose to Be Finished Year 2012年

完成时间Achievement Time

所处阶段Plan Phase 起草阶段

国家标准号Standard No.

备注Remark 国标委综合[2011]57号

起草单位Drafting Committee 有研亿金新材料股份有限公司

主管部门Governor 中国有色金属工业协会

归口单位Technical Committees 243 全国有色金属标准化技术委员会