X射线光电子能谱仪主要用途

XPS：固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样讯息深度为～10nm以内. 功能包括:

1. 表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯。

2. 维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析（角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式）

3. 线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布。

4. 成像功能。

5. 可进行样品的原位处理 AES：1.可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析） 2.可进行深度分析适合： 纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究

03030707 /仪器仪表 /成份分析仪器

指标信息： 主真空室：1×10-10 Torr XPS：0.5eV, AES: 分辨率：0.4%, 电子枪束斑：75nm , 灵敏度：1Mcps信噪比：大于70:1 角分辨：5°～90°. A1/Mg双阳极靶 能量分辨率：0.5eV ,灵敏度：255KCPS, 使用多通道检测器（MCD）

XPS： 1.快速氩离子刻蚀枪 AES： 1.快速氩离子刻蚀枪 2.能量损失谱 。

主要研究领域包括：（1）TiO2纳米光催化以及在空气和水净化方面的应用；（2）汽车尾气净化催化剂新型金属载体的研究；（3）纳米药物载体及靶向药物的研究；（4）纳米导电陶瓷薄膜材料的研究；（5）纳米杂化超硬薄膜材料及摩擦化学的研究；（6）纳米发光材料及纳米分析化学研究；（7）有机电致发光材料的表面化学研究；（8）纳米材料在香烟减毒净化上的应用研究；（9）无机纳米杀菌与抗菌材料及其在饮用水净化上的作用；（10）电解水制氧电极材料的研究。2100433B

单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶、功率大于等于500W； 超高真空系统，样品分析室真空优于5*10^-10 Torr； 能量分辨优于0.5eV/(Ag 3d5/2), 0.8 eV/(C 1s); 对样品进行表面元素和价态分布进行成像分析； 具有先进的荷电中和技术； 可使用离子刻蚀和角分辨功能； 样品分析测试具有较高的自动化程度。

对固体样品的元素进行成分分析，定量或者半定量分析，以及分析固体表面的组成、化学状态。 2100433B