吸附泵

《机械工程名词 第五分册》第一版。

泵内气体分子主要被具有大的表面积材料(如多孔物质)物理吸附而保留在泵内的一种捕集真空泵。

吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说，一台无任何吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是，一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的，其最低温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气，因为真空检漏会经常用到氦气。因此，低温泵需要通过吸附材料来帮助其抽除气体。另外，吸附材料在低温下比无吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡压力。低温泵的工作方式是通过表面吸附而进行的，表面积越大对低温泵的工作性能越有利。因此，合适的吸附材料必须具有较大的比表面和吸附容量。对吸附材料进行表征的物理量主要有：几何形状和颗粒大小分布；表面结构；密度；比表面积；孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的 。

F≈0.01（101－P 绝对压力 ）S 吸盘面积

(即F≈0.01×泵的最大负压×吸盘面积)

上式中， F：理论吸附力大小，单位：Kgf(公斤力)

P绝对压力：为微型真空泵的绝对真空度，单位取：KPa(千帕)

S吸盘面积：为吸盘有效面积，单位取：cm 2(平方厘米)

从上式可以看到，吸附力的大小理论上与泵的流量无关，但在实际使用中与流量参数是相关的。原因如下：因为气路系统不可能做到理论密封，总有一定的泄漏。在这种情况下，微型真空泵的流量越大，泄漏量所占的比例越小，越有利于泵维持较高的真空度，从而得到更大的吸附力。比如，有2台极限真空度相同的泵，A泵流量为1L/min，B泵流量为20L/min，同样在0.1L/min的泄漏情况下，A泵的真空度会降低很多，因为0.1L/min的泄漏对它而言太大了。但0.1L/min的泄漏对B泵来说不算什么，仍然可以维持较高的真空度。因此，虽然二者真空度相同，但在实际中，B泵产生的吸附力更大。

因此，泵选型时必须同时考虑真空度和流量两个指标，只重视真空度指标是不切实际的。

关于吸附时间快慢问题可参见 《对密闭容器抽气时，容器内真空度随抽气时间的变化曲线和计算工具》

关于物体被吸住后的释放问题。当需要释放被吸住的物体时，首先必须使泵停机，不要继续抽真空。泵停机后，物体不一定会立即脱落，因为泵都有一定的保压能力，真空还将继续维持一会儿。要想立即释放，气路系统应再增加一条支路，连接一开关阀，泵停机并同时打开阀门，立即消除气路系统真空，这样才能可靠地释放物体。

3.常见微型真空泵能提供的最大抽吸力(吸附力) 吸住物体重量列表(蓝色代表最常被使用的型号)