微型干式真空泵

微型干式真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

微型干式真空泵指隔膜是真空泵，因为这种泵无须加油，终身免维修。无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

爪型干式真空泵，就是转子为爪型的干式真空泵。爪型转子

爪型干式真空泵的结构，一般采用多级转子串联，或罗茨转子与多级转子串联的形式，组成多级爪型干式真空泵。

(1)SIHIdry干式真空泵是新-代具有众多特 殊性能的富于革新意义的真空设备。

(2)SIHIdry干式真空泵适用于吸入压力要求 达到1Pa以下，需要洁净真空的，处理含水分和 灰尘、腐蚀性气体、有毒辣气体和易燃易爆气体的 苛刻介质的现代高利技行业。

(3)S1HIdry干式真空泵具有20 000h无需维 修，较低的全寿命成本和有利于环保等显著优势。