微流量传感器

·气压浸水法

·颜色浸染法

·质量流量法

·压力衰减法（绝对压力法）

·差动压力法

·氦气质谱法

·氦气聚集流法

·氦气吸入法

·电压击穿法– 主要用于医药行业

气压浸水法: 应用缺陷

·极度依赖于人为 判断，缺乏严谨性!!

·对被测产品造成物理或者化学损伤，零件必须重新干燥处理。

·慢，难于确定具体的泄漏值。

·内部腔体间泄漏无法确定。

·适用于大或中型泄漏(小于低压20 cc/min).

·在很多情况下,极小的气泡不容易被肉眼察觉.

·如下原因，有泄漏- 但是不产生气泡:–水的表面张力–水分子可能堵住泄漏–在极小的泄漏情况下气体分子能融入水中-没有气泡产生

传统的质量流量传感器vs.ATC 微流量科技

·传统的质量流传感器 (热线式传感器) 基于温度变化影响电桥电阻变化的原理 - 完全不同于ATC的智能微流量传感器IGLS.

·尽管测量流量的概念是一样但是工作原理完全不同·传统的质量流传感器 (热线式传感器)主要基于开路式流- 在闭路式流的环境下不稳定.

·传统的质量流传感器 (热线式传感器)不适用真空环境.(因为真空是温度绝缘环境而热线式传感器是基于温度的变化）

·传统的质量流传感器 (热线式传感器)需要等待温度稳定，需要很长的测试周期

或者:

·直接增加测量阀值.·能应用于较大泄漏的零件，不适用于微小的泄漏.·环境温度对传统的质量流传感器 (热线式传感器)的影响大.

·传统的质量流传感器需要过载保护，而ATC的智能微流量传感器IGLS不需要。

绝对压力法存在的问题

·间接测试方法- 计算泄漏–同批次零件细微容积的差别能影响测试结果（容积和压力变化速率是直接的关系）–若改变被测零件，操作员必须重新“标定” 检漏仪.

·压力传感器的分辨率不能检测到细微的压力衰减.

·环境温度波动影响测试结果!–需要频繁的标定来校准（温度对压力传感器大，同时温度与气体的体积是直接关系）

·真空填充: 因检查压力降低，泄漏量被限定，同时受水蒸气的影响大（不同压力下水的沸点不同）

差动压力法存在的问题

·极易受温度波动影响-必须保证标准工件和被测工件具有相同的温度

·需要标准工件 -需要同时填充被测工件和标准工件, 也就需要两倍填充时间

-标准工件:-必须保证标准工件为‘零’泄漏，重复充气能改变标准工件的容积（膨胀），并且很有可能标准工件已经非‘零’泄漏.标准工件并非真正意义上的‘零’泄漏，可能由于水蒸气或者蛋白质堵塞，经过物理、化学和生物反应后而成为不合格品

·需要差压传感器–如果被测工件有大泄漏的话将极易损坏差压传感器

Advanced Test Concepts (ATC), Inc. 成功将独具创新的微流量技术应用于泄漏/密封性测试。ATC拥有微流量传感器的发明专利，它的气密性检测仪为泄漏/密封性的测试领域开启了新的一页。

ATC的密封性检测仪采用“质量抽取”技术通过加压或者抽真空方式 测试您产品的密封性。ATC提供整套泄漏/密封性解决方案产品和可选配件，比如用于检定的标准泄漏孔、等效通道以及标定样。

智能泄漏测试传感器 (IGLS) 基于一种革新的理念，采用微流量传感器和用空气来检测泄漏, IGLS测试方法不同于传统的测试方法,它基于质量守恒定律, 将补偿到被测试样的气流也考虑到整个流量的计算中, 在恒定的环境下， 流入流量等于泄漏流出的质量。

智能泄漏测试传感器 (IGLS) 是一个基于加速层流(ALF)ATC专利设计且集流量、压力和温度测量于一体的微流量传感器. IGLS 是市面上存在的唯一传感器, 其输出的流量与在滑移流区 (从真空至高压的压力变化) 的体积流量成比例关系，同时也与在平移和分子流动区的质量流量成比例.* IGLS 内置微处理器使其能直接测试泄漏的流量。

ATC的微流量技术开创了泄漏测试的新时代.它具有测试周期短，抗环境温度干扰强、以及高灵敏度等过去只有使用氦气的密封性检测仪才有的优点。ATC微流量传感器的泄漏测试仪不需要和其他泄漏测试仪一样“每天”在使用前需要校准，而是直接精准地测试得到试验结果，使测试更简单、更可靠， 用户更节约时间、更节省人力等其他隐形成本。

ATC的“质量抽取”技术充分考虑气体微流现象和气体在真空环境下的膨胀特性。ATC的“质量抽取”技术智能泄漏测试传感器的测试灵敏度与采用昂贵的氦质谱（HMS)的灵敏度相当，最典型是大约5x10-7 sccs。

ATC专利的"自适应测试"功能使从试验统计数据中"学习"测试经验,动态验测被测试样，这个功能能有效降低单个试样测试周期，使ATC微流量技术测试仪器成为市场上试验周期最短的测试方式。

智能泄漏测试传感器 IGLS 是ATC泄漏试验系统的组成部分, ATC泄漏试验仪不仅能单独在试验平台运行,也能拓展成整套自动化的泄漏测试系统。

ATC能帮助您确定产品的密封性要求，同时能帮助您在我们专业实验室测量您产品以及标定样的密封性。ATC是ISO 17025认证的公司拥有美国实验室认可协会认证的实验室，证书号为2197-01和2197-02。 ATC分公司分布于全世界各地为客户提供更便捷的服务。

*滑移流区、平移和分子流动区是微尺度流体力学专业术语

第1章

传感器的一般特性1·1 传感器的静态特性1·2 传感器的动态特性1·3 传感器动态特性分析1·4 传感器无失真测试条件1·5 机电模拟和变量分类思考题与习题

第2章 电阻应变式传感器

2·1 金属电阻应变式传感器

2·2 半导体应变片及压阻式传感器

2·3 电位计式传感器

思考题与习题

第3章 电感式传感器

3·1 电感式传感器

3·2 差动变压器

3·3 电涡流式传感器

思考题与习题

第4章 电容式传感器

4·1 电容式传感器的工作原理及结构类型

4·2 电容式传感器的静态特性

4·3 电容式传感器的等效电路

4·4 电容式传感器的特点和设计要点

4·5 电容式传感器的测量电路

4·6 电容式传感器的应用

附录a 具有固体介质的变间隙电容式传感器原理特性分析推导

附录b 变介电常数电容式传感器原理特性分析推导

附录c 电容测厚原理推导

思考题与习题

第5章 压电式传感器

5·1 压电式传感器的工作原理

5·2 压电材料的主要特性

5·3 压电元件常用的结构形式

5·4 压电式传感器的信号调理电路

5·5 压电式传感器的应用

思考题与习题

第6章 磁电式传感器

6·1 磁电式传感器的原理和结构

6·2 磁电式传感器的设计要点

6·3 磁电式传感器的应用

思考题与习题

第7章 热电式传感器

7·1 热电阻

7·2 pn结型温度传感器

7·3 热电偶

思考题与习题

第8章 光电式传感器

8·1 光电效应

8·2 光电器件

8·3 光源及光学元件

8·4 光电式传感器的应用

8·5 光纤传感器

8·6 红外传感器

8·7 图像传感器简介

思考题与习题

第9章 磁敏传感器

9·1 霍尔传感器

9·2 磁敏电阻

9·3 结型磁敏管

思考题与习题

第10章 数字式传感器

10·1 光栅传感器

10·2 磁栅传感器

10·3 感应同步器

10·4 角数字编码器

10·5 频率式数字传感器

思考题与习题

第11章 气体传感器

11·1 热导式气体传感器

11·2 接触燃烧式气敏传感器

11·3 半导体气体传感器

11·4 红外气体传感器

11·5 湿式气体传感器

思考题与习题

第12章 湿度传感器

12.1 湿度及湿度传感器的特性和分类

12.2 电解质系湿度传感器

12.3 半导体及陶瓷湿度传感器

12.4 有机物及高分子聚合物湿度传感器

12.5 非水分子亲合力型湿度传感器

12.6 湿度传感器的应用

思考题与习题

第13章 其他传感器简介

13.1 超声波传感器

13.2 微波传感器

13.3 超导传感器

13.4 智能传感器

思考题与习题

第14章 传感器的标定与校准

14.1 传感器的静态特性标定

14.2 传感器的动态特性标定

14.3 压力传感器的标定和校准

14.4 振动传感器的标定和校准

14.5 温度传感器的标定和校准

思考题与习题2100433B

空调传感器大致分为两种，温度传感器和其他传感器。

传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成，如图1 所示。

图1 传感器的组成

敏感元件直接感受被测量，并输出与被测量有确定关系的物理量信号；转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号；变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制；转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。