微机电系统(MEMS)技术—MEMS结构共振疲劳试验方法编制进程

2020年3月6日，《微机电系统(MEMS)技术—MEMS结构共振疲劳试验方法》发布。

2020年7月1日，《微机电系统(MEMS)技术—MEMS结构共振疲劳试验方法》实施。

主要起草单位：北京大学、北京智芯传感科技有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京必创科技股份有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、中北大学。

主要起草人：张威、张亚婷、朱悦、石云波、周浩楠、陈得民、于振毅、陆学贵、李海斌、程逸轩。 2100433B

2020年3月6日，《微机电系统(MEMS)技术―MEMS结构共振疲劳试验方法》发布。

2020年7月1日，《微机电系统(MEMS)技术―MEMS结构共振疲劳试验方法》实施。

主要起草单位：北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。

主要起草人：张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。 2100433B

微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南 无论你是正在学习初级MEMS课程的学生，还是想要在MEMS设计上进步飞速的设计师，这些实用指导都可以提供开展MEMS器件设计、制造和测试所需要的实操经验。你可以了解到如何使用代工厂多工程制造工艺进行低成本MEMS工程设计，以及如何使用计算机辅助设计工具（布局、建模）进行MEMS器件的设计。

在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学、热学和流体学等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了 MEMS设计的实践和挑战，并提供了相关的解决方案。 Joel A. Kubby是加州大学圣克鲁兹分校巴斯金工程学院的电子工程教授。此前，他曾经是施乐威尔逊研发中心的区域经理，也是纽约韦伯斯特的技术人员之一。他曾经带领一个由6 个企业联合而成的工业研究组织进行光学MEMS的新工艺开发，该项目属于国家标准和技术研究所的高端技术计划（ATP），Joel A. Kubby本人拥有超过80项专利。