微系统设计

第一部分 基础知识

第1章 引言

第2章 MEMS设计方法

第3章 微制造技术

第4章 工艺集成

第二部分 建模策略

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第三部分 特定领域的细节

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第四部分 电路与系统问题

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第五部分 实例研究

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附录A 参数符号表

附录B 电磁场

附录C 立方材料的弹性常数

参考文献

《微系统设计》将多学科的基础知识有机联系起来，带领大家进入微系统设计世界。这些知识是工作在MEMS领域的工程师所必不可少的。

全书涉及的主题范围广泛，包括：微加工技术、机械学、热流理论、电子学、噪声、带反馈或不带反馈的系统动力学等。因为很难简要地阐明“优良”设计的基本原理，《微系统设计》以提供一组实例研究的方式进行组织，这些实例研究或者基于真实的产品，或者基于已发表在文献中的产品原型。

实例研究的选择范围是那些具有多方面代表性的范例：不同的加工制作方法，不同的应用领域，在换能方式上运用不同的物理效应。实例研究的主要对象是下列器件的设计与封装：压阻式压力传感器、电容式加速度计、利用石项压电驱动与感测的陀螺仪、两种静电致动光投影显示器、两种DNA扩增微系统以及一种用于可烯气体测量的催化传感器。

《微系统设计》是麻省理工学院研究生课程“微机电系统设计与制作”的教材，适合高年级本科生和研究生学习MEMS使用，也可作为MEMS专业人士的参考书。

第一章都含有家庭作业和相关阅读文献作为教材的补充。《微系统设计》还有一个专门的Web网站对其提供支持，其上放有更多的家庭作业、练习和一些推荐的设计习题，以及一些有关《微系统设计》例题、家庭作业习题方面的教学资料。

航天器低频微幅振动是影响空间高分辨率对地成像、重力梯度测量以及空间微重力试验的首要因素。受作用机理限制，被动及接触式主动控制方法已被证实无法实现对此类微振动的有效隔离，基于磁悬浮原理的非接触隔振技术成为解决该问题的优选。本项目针对国内外对空间微振动磁浮隔离系统设计方法、多源扰动行为和高保真动力学建模等研究不足的现状，通过建立隔振系统设计方法体系,探索全参数非线性动力学建模、多闭环控制策略和微振动地面模拟方法，突破空间环境下磁悬浮多维隔振系统的机-电-磁-热耦合设计、磁悬浮微振动隔离系统的多源扰动力学行为及机理等关键科学问题，将主动控制后的0.1-100Hz空间微振动幅值降低至10μg水平。本项目取得的成果将推动我国空间微振动主动隔振技术的发展，为其在航天工程中的应用提供理论基础和技术支撑。

根据微凝胶分子内部交联密度的不同，微凝胶可以分为硬质微凝胶和软质微凝胶两类。交联密度越高，微凝胶硬度越高；反之，微凝胶越柔软，趋向于线型聚合物。根据分子内及表面有无反应性基团，微凝胶又可以分为反应性微凝胶和非反应性微凝胶两类，其中以反应性微凝胶的研究最为活跃，应用最为广泛。我国相关文献报道也是反应性微凝胶居多。反应性微凝胶常见活性基团有双键、羟基、羧基、氨基和环氧基等。

1.简介：测微仪又称测量仪，有花岗石测微仪也称大理石测微仪、岩石测微仪、花岗岩测微仪。

2.用途：用于对精密零部件的平行、平面测量。配合千分表、百分表、电子测头对零件或成品进行相对测量之尺寸检验。

3.类别：普通型测微仪、微调型测微仪、螺旋形测微仪。