用调制参考波面使干涉条纹对探测器扫描来实现波面位相精密探测的仪器。以特外曼-格林型条纹扫描干涉仪为例。如图所示,该干涉仪参考波面的调制是通过压电晶体驱动参考反射镜来达到的。调制的干涉条纹被32×32二极管阵列所接收,用一台小型电子计算机及一系列外部设备对测量过程进行控制、计算及显示,完成对被测件(包括平面、球面及镜头)1024点的位相探测,测量精度可达λ/100。
条纹扫描干涉仪特点
条纹扫描干涉仪 条纹扫描干涉仪的特点:①干涉系统本身的误差可用绝对校正法测出和存储,并在后续的波面测试中自动除去,因此降低了干涉系统各光学元件的加工要求。当要求测量精度为/100时,干涉系统的波面误差只要1就够了。②由于二极管阵列上光强以随机形式多次取样和平均,因此大气抖动、振动及热变形对测量精度的影响明显下降。
用调制参考波面使干涉条纹对探测器扫描来实现波面位相精密探测的仪器。以特外曼-格林型条纹扫描干涉仪为例。如图所示,该干涉仪参考波面的调制是通过压电晶体驱动参考反射镜来达到的。调制的干涉条纹被32×32二极管阵列所接收,用一台小型电子计算机及一系列外部设备对测量过程进行控制、计算及显示,完成对被测件(包括平面、球面及镜头)1024点的位相探测,测量精度可达/100。
干涉原理上来说,白光和激光没有本质区别,就是频率有差别而已 。但目前使用的大部分迈克尔逊干涉仪是 白光式的。
白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发...
观察条纹反差起伏周期光程差改变量相干度相干度=平均波平/波差波差=平均波平/相干度原理:假设反差光程差改变量=(m+1)λ1=mλ2=相干度m=λ1/(λ2-λ1)相干度=mλ...
我国第一台多用途、高精度的光学测试仪器—JDG-1型激光多用干涉仪,最近在安徽光学精密机械研究所研制成功.这台仪器可用于测量光学零件的平面度、平行度、球面
用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1 简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及 坐标测量机的线性精度。但是,文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相 关的其它项目,如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内,用于实现 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距离精度测量的特殊方法(如真空操作)也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。( 1 微米比一根头发的 1/25 还细。由于太细,所以肉眼无 法看到,接近于传统光学显微镜的极限值)。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛 使用,为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数,但并不表 明都很精确。(在许多情况下精度比显示的分辨率低 10-100 倍)。实现 1 微米的测量分 辨率很容易,但要得到 1 微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文