中文名 | 隧穿电流 | 外文名 | tunneling current |
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适用领域 | 微电子、电力 | 所属学科 | 微电子学、电子学、物理学 |
对于半导体异质结或者MIS的界面势垒,在加有较高的电压时,势垒中的电场很强,则这时电子隧穿的界面势垒可近似为三角形势垒(见图2),并且该隧穿三角形势垒的宽度与外加电压有关(即与电场E有关);这种隧穿称为Fowler-Nordheim隧穿,相应的电流为
j = -q n vth T(三角形) = C1 E2 exp(C2/E)
其中的常数C1=9.625×10,C2=2.765×10V/cm。
特别,对于MOS系统,电子从Si隧穿二氧化硅的势垒可近似为斜顶梯形的势垒,这种隧穿往往称为直接隧穿。
对于有限高度的势垒,当势垒厚度与微观粒子的de Broglie波长接近时,则对于微观粒子来说,该势垒就是量子势垒;因为这时的微观粒子可以利用其波动性而直接穿过势垒,即隧道效应。若微观粒子是电子,那么电子隧穿量子势垒即将产生隧穿电流。
如果知道了电子发生量子隧穿的几率T,则隧穿电流密度j可以求出为(设电子浓度为n,电子的热运动速度为vth): j = -q n vth T
不同形状势垒的隧穿几率T:
在图1中示出了三种典型的势垒;有效势垒宽度为x1~x2。
决定电子波函数的Schrodinger方程为: d2Ψ/dx2 (2m*/ħ2) [E-U(x)] Ψ = 0
如果式中的电势能U(x)变化不很快,则该方程可以采用WKB近似来简化,并可求出隧穿前后两边波函数之比为: |Ψ(x2)| / |Ψ(x1)| = exp{- ∫ [(2m*/ħ2)(U(x)-E)]1/2 dx} (积分限为x1~x2)
可见,在势垒区内,波函数是指数式衰减的;这是由于在此U(x)>E(动能为负),则波矢为虚数,即k=i[(2m*/ħ2)(U(x)-E)]1/2,从而,上面的波函数之比可变形为exp{-|k|x}。在势垒区以外的1区和2区都是平面波(在2区是波幅较小的平面波),波矢都是实数,即k=(2m*E/ħ2)1/2。
因为电子出现的几率∝|Ψ|2,所以,根据上面的结果可求得电子的隧穿几率为
T = |Ψ(x2)|2 / |Ψ(x1)|2 = exp{-2 ∫ [(2m*/ħ2)(U(x)-E)]1/2 dx} (积分限为x1~x2)
显然,势能U(x)的形式不同,即不同形状的势垒,则电子的隧穿几率也就不同。
对于矩形势垒(图1(a)),电子的势能U(x) = q Φb =常数(即势垒高度恒定),则电子的隧穿几率为
T(矩形)= exp[-2(2m* qΦb/ħ2)1/2 Δx]
对于三角形势垒(图1(b)),电子的势能线性变化,即U(x)-E = qΦb (1-x/Δx),则有隧穿几率:
T(三角形)= exp[-(4/3) (2m* qΦb/ħ2) Δx] = exp [ -4 (2m*q)1/2(Φb)3/2 / (3ħ|E|) ]
式中的E是势垒中的电场强度。
对于抛物线形势垒(图1(c)),U(x)-E = q Φb (1-4x/Δx),则有隧穿几率:
T(抛物线)= exp[-(p/2) (2m*qΦb/ħ2)1/2 Δx]
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