隧穿电流

隧穿电流(tunneling current)是指在微电子技术中,当半导体的势垒或者二氧化硅薄膜的厚度,薄至与载流子的德布罗意波(de Broglie波)的波长差不多时,发生载流子的量子隧穿效应的电流。

隧穿电流基本信息

中文名 隧穿电流 外文名 tunneling current
适用领域 微电子、电力 所属学科 微电子学、电子学、物理学

对于半导体异质结或者MIS的界面势垒,在加有较高的电压时,势垒中的电场很强,则这时电子隧穿的界面势垒可近似为三角形势垒(见图2),并且该隧穿三角形势垒的宽度与外加电压有关(即与电场E有关);这种隧穿称为Fowler-Nordheim隧穿,相应的电流为

j = -q n vth T(三角形) = C1 E2 exp(C2/E)

其中的常数C1=9.625×10,C2=2.765×10V/cm。

特别,对于MOS系统,电子从Si隧穿二氧化硅的势垒可近似为斜顶梯形的势垒,这种隧穿往往称为直接隧穿。

隧穿电流造价信息

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对于有限高度的势垒,当势垒厚度与微观粒子的de Broglie波长接近时,则对于微观粒子来说,该势垒就是量子势垒;因为这时的微观粒子可以利用其波动性而直接穿过势垒,即隧道效应。若微观粒子是电子,那么电子隧穿量子势垒即将产生隧穿电流。

如果知道了电子发生量子隧穿的几率T,则隧穿电流密度j可以求出为(设电子浓度为n,电子的热运动速度为vth): j = -q n vth T

不同形状势垒的隧穿几率T:

在图1中示出了三种典型的势垒;有效势垒宽度为x1~x2。

决定电子波函数的Schrodinger方程为: d2Ψ/dx2 (2m*/ħ2) [E-U(x)] Ψ = 0

如果式中的电势能U(x)变化不很快,则该方程可以采用WKB近似来简化,并可求出隧穿前后两边波函数之比为: |Ψ(x2)| / |Ψ(x1)| = exp{- ∫ [(2m*/ħ2)(U(x)-E)]1/2 dx} (积分限为x1~x2)

可见,在势垒区内,波函数是指数式衰减的;这是由于在此U(x)>E(动能为负),则波矢为虚数,即k=i[(2m*/ħ2)(U(x)-E)]1/2,从而,上面的波函数之比可变形为exp{-|k|x}。在势垒区以外的1区和2区都是平面波(在2区是波幅较小的平面波),波矢都是实数,即k=(2m*E/ħ2)1/2。

因为电子出现的几率∝|Ψ|2,所以,根据上面的结果可求得电子的隧穿几率为

T = |Ψ(x2)|2 / |Ψ(x1)|2 = exp{-2 ∫ [(2m*/ħ2)(U(x)-E)]1/2 dx} (积分限为x1~x2)

显然,势能U(x)的形式不同,即不同形状的势垒,则电子的隧穿几率也就不同。

对于矩形势垒(图1(a)),电子的势能U(x) = q Φb =常数(即势垒高度恒定),则电子的隧穿几率为

T(矩形)= exp[-2(2m* qΦb/ħ2)1/2 Δx]

对于三角形势垒(图1(b)),电子的势能线性变化,即U(x)-E = qΦb (1-x/Δx),则有隧穿几率:

T(三角形)= exp[-(4/3) (2m* qΦb/ħ2) Δx] = exp [ -4 (2m*q)1/2(Φb)3/2 / (3ħ|E|) ]

式中的E是势垒中的电场强度。

对于抛物线形势垒(图1(c)),U(x)-E = q Φb (1-4x/Δx),则有隧穿几率:

T(抛物线)= exp[-(p/2) (2m*qΦb/ħ2)1/2 Δx]

隧穿电流常见问题

隧穿电流文献

一个适用于短沟HALO结构MOS器件的直接隧穿栅电流模型 一个适用于短沟HALO结构MOS器件的直接隧穿栅电流模型

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对沟道长度从10μm到0.13μm,栅氧化层厚度为2.5nm的HALO结构nMOS器件的直接隧穿栅电流进行了研究,得到了一个适用于短沟道HALO结构MOS器件的直接隧穿栅电流模型.随着沟道尺寸的缩短,源/漏扩展区占据沟道的比例越来越大,源漏扩展区的影响不再可以忽略不计.文中考虑了源/漏扩展区对直接隧穿栅电流的影响,给出了适用于不同HALO掺杂剂量的超薄栅(2~4nm)短沟(0.13~0.25μm)nMOS器件的半经验直接隧穿栅电流模拟表达式.

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共振隧穿二极管的材料结构设计——共振隧穿器件讲座(5) 共振隧穿二极管的材料结构设计——共振隧穿器件讲座(5)

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在系统细致分析RTD材料结构参数与器件特性参数关系的基础上,确立了RTD材料结构的设计原则和设计方法,并对以SI-GaAs为衬底的RTD分子束外延(MBE)材料生长结构进行了设计。所研制出的RTD参数实测结果证实了此设计方法是正确的。

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换算隧长就是将不同施工段的运碴运距换算成独立的隧长,然后根据不同施工段负担的工程数量套用不同档次的隧长定额,进而得到较为贴切的该施工段的运碴费用。

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清·王夫之 《宋论·光宗》:“夫岂必陻其沟洫,夷其隧埒,而后畸有所归哉!”2100433B

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