SON构造制备及其在集成气压传感器上的应用结题摘要

单晶硅片上刻蚀出微小沟槽后在非氧环境下高温加热，能得到真空腔体和单晶硅膜，这种构造称为SON（Silicon on nothing）。本项目从SON构造的制备入手，解决制作工艺中的一些关键问题，将此SON构造的制备方法应用到压力传感器的开发中，不需气密性封装就能制作出绝压式、差压式共有的多压力传感器集成的气压传感器芯片系统，实现多范围、高灵敏度的压力测量，同时实现绝对压力和相对压力，静态压力和动态压力的共测，开辟SON结构在集成电路制作领域以外的应用先例，开发具有自主知识产权的气压传感器。该课题在关于SON构造成形机理方面取得一定的创新性成果，并自制SON构造制备装置，为SON构造制作及基于SON的压力传感器或其他类型传感器的制作开发具有重要的指导意义和应用价值。

单晶硅片上刻蚀出微小沟槽后在非氧环境下高温加热，能得到真空腔体和单晶硅膜，这种构造称为SON（Silicon on nothing）。本项目拟从SON构造的制备入手，解决制作工艺中的一些关键问题，将此SON构造的制备方法应用到压力传感器的开发中，不需气密性封装就能制作出绝压式、差压式共有的多压力传感器集成的气压传感器芯片系统，实现多范围、高灵敏度的压力测量，同时实现绝对压力和相对压力，静态压力和动态压力的共测，开辟SON结构在集成电路制作领域以外的应用先例。开发具有自主知识产权的气压传感器。

《断裂构造对地应力场的影响及其工程应用》主要介绍断裂构造对地应力场的影响及其工程应用。

《断裂构造对地应力场的影响及其工程应用》共分8章，主要内容包括地应力的形成及其影响因素，中国西部地区地应力场特征及其形成机理，活动断裂对地应力场、非活动断裂对地应力场的影响的研究，断裂构造对地应力场的影响的数值模拟分析，复杂断裂构造复合条件下的地应力特征及断裂构造对地应力场的影响的工程应用等。

《断裂构造对地应力场的影响及其工程应用》可供土木工程、地质工程、岩石力学等工程技术人员及高等院校相关专业师生参考。2100433B

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