中文名 | 手动探针台 | 外文名 | PROBE STATION |
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1.什么是探针台
探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
2探针台应用
手动探针台广泛应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。
主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。
用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件(如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。
探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮,控制固定在针座上的探针杆做三向移动,移动范围12mm,移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材,一般客户自己准备),探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件,多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。
3、工作环境
探针台应放在坚固稳定的台面上,如地基有震动的情况,需要配置主动防震装置,避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用最佳温度范围为5℃~40℃,最佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。
使用电源:220V,50Hz
INGUN探针,测试针,用于测试PCBA的一种探针。表面镀金,内部有平均寿命3万~10万次的高性能弹簧。目前国外比较有名的生产厂家有:ECT,INGUN, QA ,IDI、Semiprobe 探针的材...
测试探针,K-50-QG 无线路由器测试,是应用于电子测试中测试PCBA的一种测试连接电子元件。
将赴吴兴登乐游原一绝(杜牧)
4.2.2 带压可伸缩探针拆装 可伸缩型探针在监测点工艺参数同时满足温度< 70℃、压力< 0.5MPa的条件时可不 借助带压拆装装置进行探针的拆装。当监测点工艺参数中存在温度≥ 70℃或压力≥ 0.5MPa的任一情况时, 均必需借助带压拆装装置进行探针的伸缩以保证作业安全。 探针 拆装一般要两人配合操作;可伸缩型探针包括低温伸缩电感、电阻和电化学探针。 探针拆装操作步骤 ⑴可伸缩型探针在监测点工艺参数满足温度 >70℃、压力 >0.5MPa的任一条件时就 必须借助带压拆装装置进行探针的拆装;拆装装置如图 图 4-7 低温低压拆装装置分解图 ⑵将已组装好探针的密封填料函安装到监测点接出装置的阀门上 ,见图 4-8; 1 图 4-8 可带压拆装型探针安装示意图 ⑶把拆装装置前端滑块内螺纹与探针尾部航空插头外螺纹相连接, 再旋转伸缩装置 手柄使前端螺栓与填料函卡槽相连接,图 4-9 和图
双光子吸收是指在强光激发下,介质分子同时吸收两个光子,从基态跃迁到两倍光子能量的激发态的过程。荧光显微成像是研究活体生物的重要工具,而最通常的细胞成像方法则是使用单光子激发荧光团的单光子显微成像。近红外光源激发的双光子荧光探针克服了单光子荧光探针的光漂白与光致毒而更适于生物检测与成像,为生命科学研究提供了更为锐利的工具。双光子荧光探针的作用机理包括分子内电荷迁移(ICT)、荧光共振能量迁移(FRET)、光诱导电子迁移(PET)与基团转换(GC)4种方式。该文综述了双光子阳离子探针(Mg2+,Ca2+,Pb2+,Hg2+,Ag+,Fe3+,Zn2+,Na+,Cr3+)、双光子阴离子探针(F-)、pH探针、双光子葡萄糖示踪器、双光子脂筏探针、双光子巯基探针、双光子半胱氨酸探针和双光子生物标记探针,以及双光子荧光探针在生物成像方面的应用,展望了双光子荧光探针的发展趋势与应用前景。
探针台分类
探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动
从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台
经济手动型
根据客户需求定制
chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)
X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)
chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离
显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)
显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)
探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
适用领域:晶圆厂、研究所、高校等
半自动型
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm
可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6~8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"
可搭配Probe card测试
适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品
电动型
chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8~12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“
材质:花岗岩台面 不锈钢
可搭配Probe card测试
适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品
LCD半自动探针台
机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手动探针台
白炽灯或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量测分析
机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300
PCB量测探针台(TDR)
高频测试探头GSG / GS / SG
频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
机台尺寸同LCD 探针台
太阳能产业探针台(Solar Cell 量测系统)
量测软体:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太阳光模拟器
探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动
从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台
根据客户需求定制
chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)
X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)
chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离
显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)
显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)
探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
适用领域:晶圆厂、研究所、高校等
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm
可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6~8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"
可搭配Probe card测试
适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品
chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8~12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"
材质:花岗岩台面+不锈钢
可搭配Probe card测试
适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品
机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
白炽灯或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量测分析
机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300
高频测试探头GSG / GS / SG
频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
机台尺寸同LCD 探针台
量测软体:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太阳光模拟器
主要应用于半导体行业 (IC和MEMS)以及光电行业的测试。主要使用在电子,机电,化工,材料特性研究所,及光电系所,纳米机械,航空电子等,其目的在于保证质量及器件的可造性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
双面探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动
双面探针台 从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台