热处理装置

热处理装置(1)包括具有用于向基板处理部(5)供给热风的热风供给部件(14)的空气调整部(11)、以及用于对基板进行热处理的热处理室(12)。热处理装置(1)配置有催化壁(40)，载持有促进在热处理室(12)的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂。因此，热处理装置(1)因冷却生成气体而产生的所谓的升华物的产生量极低。此外，由于在生成气体氧化分解时会产生反应热，所以热处理装置(1)在热处理时加热混合气体只需很少的耗电量。2100433B

步进式热处理装置。根据步进式热处理装置10，由于在用于协作地输送共通的基板16的固定梁(第1梁)20以及可动梁(第2梁)22中位于外侧的固定梁20上，具备与由该固定梁20所支撑的基板16的侧缘相配合而导引该基板16的横向导引突起74，因此可以很好地防止通过固定梁20以及可动梁22的协作而被输送的基板16的偏移、脱落。

步进式热处理装置。根据步进式热处理装置10，由于在用于协作地输送共通的基板16的固定梁(第1梁)20以及可动梁(第2梁)22中位于外侧的固定梁20上，具备与由该固定梁20所支撑的基板16的侧缘相配合而导引该基板16的横向导引突起74，因此可以很好地防止通过固定梁20以及可动梁22的协作而被输送的基板16的偏移、脱落。

步进式热处理装置，它是具备交替地进行炉长方向的相对移动和上下方向的相对移动的第1梁以及第2梁、和加热炉的步进式热处理装置，其中所述的加热炉具有用于对通过该第1梁以及第2梁的协作而被输送的基板进行辐射加热的加热体，其特征在于： 在用于协作地输送基板的上述第1梁以及第2梁中的位于外侧的梁上，具备与由该梁所支撑着的基板的侧缘相配合而导引该基板的横向导引突起。

高频热处理装置电磁感应原理

1831年，英国物理学家faraday发现了电磁感应现象，并且提出了相应的理论解释。其内容为，当电路围绕的区域内存在交变的磁场时，电路两端就会感应出电动势，如果闭合就会产生感应电流。

利用高频电压或电流来加热通常有两种方法：

（1）电介质加热：利用高频电压（比如微波炉加热）

（2）感应加热：利用高频电流（比如密封包装）

高频热处理装置电介质加热（dielectric heating）

电介质加热通常用来加热不导电材料，比如木材。同时微波炉也是利用这个原理。原理如图

当高频电压加在两极板层上，就会在两极之间产生交变的电场。需要加热的介质处于交变的电场中，介质中的极分子或者离子就会随着电场做同频的旋转或振动，从而产生热量，达到加热效果。

高频热处理装置感应加热（induction heating）

感应加热原理为产生交变的电流，从而产生交变的磁场，再利用交变磁场来产生涡流达到加热的效果。

高频热处理装置基本电磁定律

如果采用MKS制，e的单位为V，Ø的单位为Wb，H的单位为A/m，B的单位为T。

以上定律基本阐述了电磁感应的基本性质，

高频热处理装置集肤效应

当交流的电流流过导体的时候，会在导体中产生感应电流，从而导致电流向导体表面扩散。也就是导体表面的电流密度会大于中心的电流密度。这也就无形中减少了导体的导电截面，从而增加了导体交流电阻，损耗增大。工程上规定从导体表面到电流密度为导体表面的1/e=0.368的距离δ为集肤深度。