热传导真空计

真空压力表可直接测量电阻炉内气体的压力，属绝对真空测量仪表。实际上在电阻炉真空度侧量中，除极少数低真空采用直接测量方法外，绝大多数采用间接测量方法，即通过测量与气体压力变化引起的物理现象，间接地反映气体压力的大小。根据气体分子热传导与压力有关这一物理现象制成的，间接地测量气体的压力的真空计称为热传导真空计。

热传导真空计原理

在玻璃管壳中安装一根热丝，给热丝通电发热，使其温度高于周围气体和管壳的温度，于是在热丝和管壳之间产生热传导。当达到热平衡时，热丝的温度决定于气体热传导。气体压力越高，传导的热量就越多，平衡温度也就越低。由此可知，热丝温度与气体压力存在着一定的对应关系，通过测量热丝的温度，便可计算出气体的压力。依据热丝温度的测量方法不同，常见的热传导真空计有三种，利用热丝随温度变化的线膨胀性质制成的膨胀式真空计;利用热电偶直接测量热丝的温度变化制成的热偶真空计;利用热丝电阻随温度变化的性质制成的电阻真空计，其中电阻真空计和热偶真空计是目前低真空测量中用得最多的两种真空计。2100433B

低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。

世界著名真空企业，在皮拉尼真空计的生产工艺上采用白金丝，代替传统灯丝。大大提高了产品稳定性。稳定性的提高使得皮拉尼真空计获得更为广泛的应用。随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，满足光伏行业基础单晶硅生产。应用于节能灯毛管排气台，解决了以往由于火花检漏仪打火和高温造成的真空计死机问题。如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用广泛。真空已经随着商业工业进步，走进平常生活紧密相关的领域。

电阻真空计，低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。

低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。

世界著名真空企业玉川真空，在皮拉尼真空计的生产工艺上采用白金丝，代替传统灯丝。大大提高了产品稳定性。稳定性的提高使得皮拉尼真空计获得更为广泛的应用。随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，满足光伏行业基础单晶硅生产。应用于节能灯毛管排气台，解决了以往由于火花检漏仪打火和高温造成的真空计死机问题。如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种TAMAGAWA真空计小部件，应用广泛。真空已经随着商业工业进步，走进平常生活紧密相关的领域。

电阻计原理

Pirani皮拉尼真空计构造。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立

Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。

气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为

Qg = αΛπda(T－T0)p (2)

T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

Qs = Sκ(T－T0)/L (3)

Qr = πdaσε(T4－T04) (4)

(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。

(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为

I2R = Ap I02R (5)

A = αΛπda(T－T0) (6)

I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。

利用气体分子的热传导现象，可能测量的压力范围在1~300Pa之间。热电偶真空计测得细线温度同时,也受到细线本身的固体热传导和热辐射放热的影响。因此精度不高。但是电路简单，价格低廉。

另外此真空计在大气压状态下也不会烧损。而且测得的压力值通过电信号被取出，因此在自动控制方面容易控制。