缺陷检查设备

适用于直至90nm技术代的缺陷细微检查和成分分析。

缺陷检知率>90%重复性>95%分辨率9片/小时。

其可相应于图案的密度自动地设定具有相应于缺陷部分的尺寸的缺陷检测灵敏度的尺寸判定区域，进行缺陷检查。

该缺陷检查方法包含：

其基于参照图像数据，于复数个方向计测图案的宽度，并将上述参照图像数据变换为相应于上述图案于上述各方向的宽度的亮度，制作对应于上述各方向的复数个扫描图像数据；其比较上述复数个扫描图像数据，并自该等扫描图像数据选出最小的亮度的最小亮度，制作宽度图像数据；

其基于被检查图像数据与上述参照图像数据抽出缺陷部分，并将于上述图案的宽度成为最小亮度的方向测定的尺寸变换为亮度，制作缺陷尺寸图像数据；

以及，其基于上述缺陷尺寸图像数据与上述宽度图像数据，进行对于上述缺陷部分的缺陷判定。

一种缺陷检查方法，其为摄像描绘有图案的被检查体，基于所取得的被检查图像数据与参照图像数据进行上述被检查体的缺陷检查，其特征在于包含：

第1步骤，其基于上述参照图像数据，于复数个方向计测上述图案的宽度，并将上述参照图像数据变换为相应于上述图案于上述各方向的宽度的亮度，制作对应于上述各方向的复数个扫描图像数据；

第2步骤，其比较上述复数个扫描图像数据，并自该等扫描图像数据选出最小的亮度的最小亮度，制作宽度图像数据；

第3步骤，其基于上述被检查图像数据与上述参照图像数据抽出缺陷部分，并将于上述图案的宽度成为最小亮度的方向测定上述缺陷部分的尺寸变换为亮度，制作缺陷尺寸图像数据；

第4步骤，其基于上述缺陷尺寸图像数据与上述宽度图像数据，进行对于上述缺陷部分的缺陷判定。

缺陷检查方法以及利用该方法的缺陷检查装置，通过一次拍摄就能够检测出成形体表面的凹凸缺陷以及色彩缺陷。

缺陷检查原理

对于检查对象的工件表面，同时驱动同轴反射照明用的照明部和斜入射照明用的照明部，并在该照明下用照相机进行拍摄。在照明部中分别设置有发出各色彩光的光源，并且，在照明部仅点亮这些三种光源中的一种，而在照明部点亮在照明部没有点亮的一种或两种光源。

缺陷检查结构

发明的缺陷检查数据处理系统具有：客户计算机，其中具有用于取得在制造工序中作为处理对像的被检查物体的二维图像的图像取得装置、以及把用该图像取得装置取得的图像作为数据进行传输的数据传输装置；数据库，用于记录从该客户计算机传送来的图像数据；以及主计算机，其中具有用于对从该数据库中读出的上述图像数据进行缺陷信息抽取的缺陷抽取装置、以及用于根据由该缺陷抽取装置抽取的缺陷信息来判断上述被检查物体是否合格的合格与否判断装置，对上述客户计算机和主计算机分开进行构成，通过通信线路使其相连接。 2100433B