气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置
《气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置》是中微半导体设备（上海）股份有限公司于2019年12月6日申请的专利，该专利公布号为CN112928008A，专利公布日为2021年6月8日，发明人是连增迪、左涛涛、吴狄。
气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置基本信息
| 中文名 | 气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置 [1] | 授权公告号 | CN112928008A |
|---|---|---|---|
| 授权公告日 | 2021年6月8日 | 申请号 | 201911243135X |
本申请实施例公开了一种气体供应系统，包括多个气体输入管路和气体输出管路，所述气体输入管路包括并联的第一气体输出支路和第二气体输出支路，所述气体输出管路包括第一气体输出管路和第二气体输出管路，所述第一气体输出管路的输出端与所述第二气体输出管路的输入端相连，第二气体输出管路的输出端用于给等离子体处理设备的腔室输送气体，第一气体输出管路与多个气体输入管路中的第一气体输出支路的输出端相连通，第二气体输出管路与所多个气体输入管路中的第二气体输出支路的输出端相连通，从而在多个气体输入管路中输出不同流量需求的第一气体和第二气体时，以解决小流量需求的第二气体对等离子体处理工艺过程的改善效果较为有限的问题。
气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置造价信息
| 申请日 |
2019.12.06 |
| 申请人 |
中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 地址 |
201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 |
| 发明人 |
连增迪; 左涛涛; 吴狄 |
| Int. Cl. |
H01J37/32(2006.01)I |
| 专利代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司11227 |
| 代理人 |
张静 |
气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置常见问题
-
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等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法——叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法。对燃烧分解、化学中和、 薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述。指出等离子体净化和脉冲电晕放电是净化有害气体的...
气体输送
火力发电厂气力输送调查与研究 以前，城市集中供热厂或小型热电厂，从规模上相对来说都比较小，除灰系统 大多是用水力除灰方式。随着供热厂或电厂规模的扩大，比如：我们现在正在 作的延吉供热厂，其规模是 9 台 58MW热水锅炉；哈尔滨道里区集中供热厂， 其规模为 6 台 116MW热水锅炉和 3 台 75t/h 蒸汽锅炉。它们的规模都远远大 于常规的供热厂。 随着我国水资源、土地资源的日益紧缺， 以及国家环保法律、 法规的相继出台， 对水、土地、环保等方面的要求都提出了较高的要求。 为此， 气力除灰与传统的水力除灰方式相比，在这方面就有其独特的优点：首先，它 与水力除灰方式相比，气力除灰能节省大量的冲灰水；在输送过程中，灰不与 水接触，故灰的固有活性及其它物化特性不受影响， 有利于粉煤灰的综合利用； 减少灰场占地； 避免灰场对地下水及周围大气环境的污染； 不存在灰管结垢及 腐蚀问题；系统自动化程
气体输送及控制。 2100433B
本发明提供一种气体供应系统，其包括：贮存第一低温液化气体的第一罐；在第一罐内第一低温液化气体气化而发生的第一气体被流入，且配置有使第一气体升压的气体升压机构的第一路径；从第一罐取出第一低温液化气体，且配置有使第一低温液化气体升压的泵和使通过泵而升压的第一低温液化气体气化的气化机构的第二路径；以及使从第一路径中的气体升压机构的上游侧取出的第一气体的至少一部分液化并使其流入第二路径中的泵的上游侧，且配置有利用第二低温液化气体或第二气体冷却第一气体的冷却换热器的再液化路径。据此，能够向需求方供应升压为指定的压力的气体，并且能够提高气体供应效率。2100433B
中国气体输送设备制造业的巨大需求引起了众多国外知名厂商的关注，世界一流的气体输送设备制造商相继进入中国，并通过合并和收购方式日益壮大，占领了相当大的市场份额。
中国气体输送设备行业的企业分布比较零散，不同类型企业有不同的市场面。比如各式中小型通风机和其它风机产品由于技术含量相对较低、附加价值较低，故多由中小企业和乡镇企业生产，绝大多数中小型企业生产的通风机都是大众化的通用产品，没有自己独特的主导产品，竞争能力一般。
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