气体供应系统
《气体供应系统》是株式会社神户制钢所于2019年5月24日申请的专利，该专利公布号为CN110553143B，专利公布日为2021年6月18日，发明人是兼井直史、名仓见治。
气体供应系统基本信息
| 中文名 | 气体供应系统 | 授权公告号 | CN110553143B |
|---|---|---|---|
| 授权公告日 | 2021.06.18 | 申请号 | 2019104432492 |
本发明提供一种气体供应系统，其包括：贮存第一低温液化气体的第一罐；在第一罐内第一低温液化气体气化而发生的第一气体被流入，且配置有使第一气体升压的气体升压机构的第一路径；从第一罐取出第一低温液化气体，且配置有使第一低温液化气体升压的泵和使通过泵而升压的第一低温液化气体气化的气化机构的第二路径；以及使从第一路径中的气体升压机构的上游侧取出的第一气体的至少一部分液化并使其流入第二路径中的泵的上游侧，且配置有利用第二低温液化气体或第二气体冷却第一气体的冷却换热器的再液化路径。据此，能够向需求方供应升压为指定的压力的气体，并且能够提高气体供应效率。2100433B
气体供应系统造价信息
| 申请日 |
2019.05.24 |
| 专利权人 |
株式会社神户制钢所 |
| 地址 |
日本兵库县神户市 |
| 发明人 |
兼井直史; 名仓见治 |
| Int. Cl. |
F17C9/02(2006.01)I; F17C6/00(2006.01)I; F17C13/00(2006.01)I; F17D1/00(2006.01)I; F02C3/22(2006.01)I; F02C7/22(2006.01)I; F02C7/14(2006.01)I; F02C7/18(2006.01)I |
| 专利代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司72001 |
| 代理人 |
李婷; 傅永霄 |
| 优先权 |
2018-106142 2018.06.01 JP |
气体供应系统常见问题
-
是喷嘴底座的装饰底盘。
-
是计取二个调试
-
西安智琦仪器仪表有限公司座落于古都西安，是专业从事气体分析仪和气体分析系统的研发、生产、销售的高新科技企业。 ...
气体供应系统文献
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（1）空压机功率：2台280kW空压机，3套吸附筒装置 （2）空压机流量：30m"_blank" href="/item/空气储罐/10815153" data-lemmaid="10815153">空气储罐容积：300m"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1]
公共气源采用恒压变频自动控制功能，最大供气流量为60m"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1] 2100433B
本申请实施例公开了一种气体供应系统，包括多个气体输入管路和气体输出管路，所述气体输入管路包括并联的第一气体输出支路和第二气体输出支路，所述气体输出管路包括第一气体输出管路和第二气体输出管路，所述第一气体输出管路的输出端与所述第二气体输出管路的输入端相连，第二气体输出管路的输出端用于给等离子体处理设备的腔室输送气体，第一气体输出管路与多个气体输入管路中的第一气体输出支路的输出端相连通，第二气体输出管路与所多个气体输入管路中的第二气体输出支路的输出端相连通，从而在多个气体输入管路中输出不同流量需求的第一气体和第二气体时，以解决小流量需求的第二气体对等离子体处理工艺过程的改善效果较为有限的问题。
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