清华大学机械电子工程研究所

简介

清华大学机械电子工程研究所成立于2013 年8 月30 日，是新机械系适应清华大学机械工程学科发展需要，为促进机械电子工程二级学科发展而建成。清华大学机械电子工程研究所目前有IC 装备、机器人、数控三个研究团队，在职教师20 名，其中IC装备团队入选科技部重点领域创新团队。所长朱煜教授入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，也是02 国家科技重大专项专家组副组长。

教学成果与人才培养

清华大学机械电子工程研究所致力于培养机械电子工程方向具有坚实基础理论和解决工程实际问题能力的优秀人才。近年来获得了丰硕教学成果，包括：北京市教育教学成果（高等教育）一等奖1 项，清华大学教学成果二等奖1 项，清华大学实验技术成果奖一等奖1 项、二等奖1 项，北京市高等教育精品教材1 项，清华大学优秀教材二等奖1 项。指导学生参加“中国机器人大赛暨RoboCup 公开赛”，共获得6 项冠军、3 项亚军和6 项季军。举办海峡两岸机器人邀请赛及学术交流会1 次。此外，多名老师先后获得清华大学优秀班主任一等奖。

学科方向

清华大学机械电子工程研究所有IC 制造装备及超精密测控、机器人与自动化技术及装备、先进数控技术与智能系统三个学科方向。在超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC 制造装备精密机电系统、机器人与仿生学、特种机器人技术及应用、航空制造数字化与自动化、机电数控技术及应用、流体传动及控制等领域开展教学与科研工作。建有IC 装备精密机械与测控工程研究中心、机器人与自动化实验室、航空航天自动化技术实验室、数控技术实验室等教学科研基地，还拥有工业机器人、纳米级超精密工作台、亚微米精度三坐标测量机、亚纳米分辨率双频激光干涉仪、500 平方米超净间等教学科研设施，为高水平教学和科研工作提供有力支持。

科研成果

清华大学机械电子工程研究所在极端制造装备、航空航天等国家主流行业具有重要影响力，共完成国家和企业科研课题70 余项，获国家和省部级奖3 项，军队科技进步奖1 项，已申请国内外发明专利150 余项，出版学术专著4 部，发表论文近400 篇，年均科研经费超过0.5 亿元。2005 年自主研制成功国内第一个10nm 精度同步运动实验台，2011 年研制了我国第一台可实现交换的光刻机双工件台，2013 年实现5nm 运动精度；2012 年面向国家航空航天领域重大需求，研制出具有国际先进水平的国内首台大型超长14 自由度冗余管道特种喷涂机器人系统；2013 年研制成功国际首个用于机床运动部件悬浮驱动的超导系统。以上进展为国家科技创新与发展做出了突出贡献。 2100433B

研究所是山西省机械电子工程重点学科挂靠单位，具有机械电子工程博士点授予权，机械工程博士后流动站。该所是教育部和山西省“新型传感器与智能控制”重点实验室，山西省机械电子工程技术研究中心。 同时还是国家“211”工程建设项目一期、二期、三期子项目建设单位。该研究所拥有一支由机、电、液、力学、计算机等专业组成的专家队伍，具有1000多万元以上的进口测试仪器、传感器标定系统、数字信号处理系统、计算机控制系统等设备，其研究手段先进，实力雄厚，在科研、生产、开发等方面具有很大优势。

西安交通大学机械电子工程研究所 的其前身是成立于1978年的液压及机控教研室，1981年获全国首批“流体传动与控制”博士学位点。1994年教育部调整专业目录，原流体传动与控制二级学科改为机械电子工程。本研究所秉承流体传动与控制研究中将设备本体和控制方法紧密结合的特色，把握机械电子系统发展的最新趋势，不断拓宽研究领域，在液压伺服系统控制、轮式移动机器人设计、嵌入式控制系统开发、视觉监控应用、复杂机电系统的故障诊断等方面的研究取得了成果。

研究所现有在编人员8人，其中教授4人（博士生导师2人），副教授1人、讲师3人，在读硕、博士研究生40余人。研究所形成了一支由机电产品设计、状态监测、系统控制等领域专业人员共同组成的教学科研队伍，承担着机械工程学院《机械控制工程》、《机电系统控制》、《现代控制工程》、《机械电子工程原理》等本科生和研究生课程的教学任务，承担省级教改项目2项，编写国家“十一五”规划教材4本。2005年获国家教学成果二等奖1项。近年来，研究所参与“973”、“十一五”国家科技支撑计划重点项目、国家自然科学基金、陕西省自然科学基金研究项目多项，企业合作科研项目二十余项，申报专利十余项。发表SCI、EI检索的论文70余篇。

主要研究方向包括：流体传动与控制系统设计、移动机器人设计及路径规划、复杂机械系统的分析/设计/监控、新型驱动装置的开发与应用、现代加工制造过程控制与嵌入式系统开发、基于视觉的智能机器等。2100433B

九十年代，实验室的建设与发展较快。1991年组建了清华大学房屋安全鉴定室，购置了性能优良的检测设备。1999年建成了大型结构实验室，添置了电液伺服实验系统和相应的试验数据采集系统，可进行足尺五层楼结构的拟动力试验与大跨度桥梁的试验。这一时期，除继续上述各项试验研究外，高强度与高性能混凝土、钢－砼组合结构及钢结构的试验研究较多。除此以外，建成了实验教学基地，供本科生结构试验课及钢筋混凝土结构和钢结构专题试验教学用。2100433B