劈尖干涉概述

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劈尖干涉概述常见问题
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劈尖干涉概述

用图甲所示的空气劈尖检查工件表面的平整度，出现如图乙、丙所示的条纹

用干涉法检查平面，如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。如果被检测平面是光滑的，得到的干涉图样必是等距的。如果某处凹下去，则对应明纹(或暗纹)提前出现，如图乙所示;如果某处凸起来，则对应条纹延后出现，如图丙所示。(注:"提前"与"延后"不是指在时间上，而是指由左向右的位置顺序上。)

可以把间距看成双缝干涉公式△x=Lλ/d中的双缝宽度d，如果上凸则d减小，△x增大，条纹变疏，反之变密。

条纹向劈尖的顶角侧弯曲时说明工件该处是一个凹;条纹远离顶角弯曲时，工件该处有一个凸起。

纹路深度是

H=θ×tanθ

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劈尖干涉造价信息

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劈尖干涉概述常见问题

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