MEMS材料与结构的静、动态力学性能测试方法研究

运用现代光电子技术、远距离显微成象技术和计算机数字图象处理技术，研究适用于微小试样和微小结构力学性能检测的实验测试方法，建立可用于微机电系统（MEMS）结构与材料力学性能测试的实验系统。为MEMS结构的优化设计和MEMS材料的力学性能研究以及逐步建立MEMS结构的静、动态力学特性测试规范提供可靠的实验手段。 2100433B

国内的RF MEMS开关研究已经有很大的进步，很多已报道的开关都具有很优良的性能，但与国外的研究相比，在性能和可靠性上还有一定差距，并且在结构上还有些简单，可靠性也有待提高，还有很多方面需要提高：

( 1) 由于电磁驱动的RF MEMS开关结构的特殊性，使得磁场分布不均匀，漏磁比较多，必须研究优化电磁系统的结构的方法以减小功耗和提高驱动力。

( 2) 为了能满足射频器件集成化和微型化的要求，电磁驱动RF MEMS开关需要制作更小尺寸线圈。

( 3) 加快RF MEMS开关可靠性研究，金属接触以及开关失效原因的研究是提高开关寿命有效途径。

( 4) 封装问题是MEMS产品实现商品化的前提，因为MEM S产品容易受周围环境的影响，RF MEMS电路正常工作很大程度上取决于由封装所提供的内部环境与保护。而有关MEMS封装的研究还处于初级阶段，MEMS器件的多样性和非密封性往往需要为每种器件单独开发相应的封装技术，需要在不影响MEMS器件性能的前提下，为设计者提供一系列标准化的封装技术。

混凝土是一种应用极其广泛的工程建筑材料，一些重要的混凝土建筑物有可能承受变化剧烈的冲击载荷，需要具备抗侵彻、抗层裂的能力。因此研究混凝土材料动态力学性能具有重要实用价值和军事背景。然而，混凝土又是种组份十分复杂的硅酸盐复合材料，骨料尺寸大，质地脆，均匀性差，材料内部存在着大量微空洞和微裂缝等损伤，它们都对混凝土材料的力学性能有重要影响。研究混凝土材料的动态力学性能，涉及到材料的本构关系，动态断裂，损伤演化以及相关的实验技术等方面的内容。因此本研究工作又具有十分重要的学术意义。.本项目将对混凝土材料的动态力学性能开展较为系统的实验研究。试图利用大尺寸SHPB对混凝土材料进行冲击压缩试验，提出测量混凝土材料动态应力-应变关系的实验新方法；并对混凝土材料的层裂现象和材料内部的损伤演化规律进行定量的实验研究。 2100433B