氯硅烷

吸入、食入对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，会引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿，并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。溅在皮肤上，可引起坏死、溃疡，长期不愈。

疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上苏打灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除。

氯硅烷;chlorosilane

硅烷SiH4中的氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄色，

通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3;

氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。

与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。

可由硅粉与氯化氢于290~400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，

在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。

用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。

此外，四氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯度硅的的中间产物。分馏后，可以获得99.999999999%(十一个9)纯度的硅。

皮肤接触:立即脱去污染的衣着，用流动清水冲洗15分钟以上。若有灼伤，就医治疗。眼睛接触:立即提起眼睑，用流动清水冲洗15分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。食入:患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清，立即就医。

氯硅烷歧化反应法，此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反应来获得硅烷:

Si + 2H2 + 3SiC14-->4SiHCl3

6SiHCl3-->3SiH2Cl2 + 3SiCl4

4SiH2Cl2-->2SiH3Cl + 2SiHCl3

2SiH3Cl-->SiH2Cl2 + SiH4

整个过程是闭路，一方投入硅与氢，另一方获得硅烷，因此排出物少，对环保环境有利，同时材料的利用率高。该方法已经实现千吨级规模生产水平。美国REC( 前身为Asimi) 采用该方法来制备硅烷气体。

名称：三甲基一氯硅烷

产品别名：三甲基氯硅烷；三甲基氯甲硅烷

英文名称：Trimethyl chloro silane

分子式：(CH3)3SiCl

产品用途：用于生产各种有机硅化合物，是生产六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料

产品性状：无色易挥发易燃液体

熔点：-57.7℃

沸点：57.7℃

相对密度：0.8580

折射率：1.3885

闪点：27.8℃

溶解性：溶于苯、乙醚和全氯乙烯

生产甲基氯硅烷澄清桶馏分的气相色谱分析[刊,俄]/Troitskaya N.N.;Los' E.V.;Bochdarev V.N.//Ж.aHaЛ.XИM.-1989,44(1).-115~119 《分析化学文摘 》1990.7