离轴照明

离轴照是1989年光刻专家提出的离轴照明技术，并得到了很好的发展，已经得到了广泛应用。离轴照明的原理是通过改变照明光入射到掩模上的入射角，达到扩展投影系统的截止频率对应的图形尺寸，从而提高光刻系统分辨率的目的。

离轴照明简介
离轴照明造价信息
离轴照明常见问题
离轴照明文献
星光照明设计观景距离
微波离子照明灯介绍
离轴光学系统光轴 (光学)

离轴照明基本信息

中文名	离轴照明	外文名	Off-axis Illumination（OAI）

离轴照明简介

如图1所示，在采用离轴照明的曝光系统中，掩模上的照明光线都与投影物镜主光轴有一定的夹角。入射光经掩模发生衍射，左侧光源的0级，-1级衍射光与右侧光束的 1级，0级衍射光参与成像。

离轴照明实际上是一种两束光成像技术，即通过调整光线在掩模上的入射角，只有两束（0， 1或-1）衍射光被投影透镜收集，并在晶圆表面成像，离轴照明的特点是没有沿主光轴方向传播的光。环形照明，四级照明和二级照明都属于离轴照明。研究表明，离轴照明是一种很有效的光刻分辨增强技术。离轴照明最大的优点是能提高聚焦深度；离轴照明最大的问题是，所收集的衍射光束是不对称的，0级衍射光的光强远大于 1和-1级衍射光。

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离轴照明造价信息

市场价

信息价

询价

材料名称	规格/型号	市场价（除税）	工程建议价（除税）	品牌	单位	税率	供应商
照明车	照明车;照明灯车;规格型号:LZ1000-2 持续工作时间7.6H0;抗风能力6级;车灯1000W×2灯;光通量210000/M;3节升降;品牌:路洁	查看价格	查看价格	路洁	台	13%	广州路洁经贸发展有限公司
照明线	铜芯多股绝缘电线RVV/0.5-3×2.5照明线	查看价格	查看价格		m	13%	广州珠江电缆有限公司
照明车	照明车;规格型号:LZL4200S 接市电供电长时间;发电机一次注满燃油13h;光源类型LED;4×100W;品牌:路洁	查看价格	查看价格	路洁	台	13%	广州路洁经贸发展有限公司
照明导线	ZR-BV 2.5mm2	查看价格	查看价格	新威讯	m	13%	深圳市宝安区龙华华达盛线缆商行
照明线	WDZC-BYJF-2.5	查看价格	查看价格	胜华电缆	m	13%	上海胜华电缆有限公司重庆办事处
照明与动力导线	ZR-BV 4mm2	查看价格	查看价格	新威讯	m	13%	深圳市宝安区龙华华达盛线缆商行
照明与动力导线	ZR-BV 6mm2	查看价格	查看价格	新威讯	m	13%	深圳市宝安区龙华华达盛线缆商行
照明与动力导线	ZR-BV 16mm2	查看价格	查看价格	新威讯	m	13%	深圳市宝安区龙华华达盛线缆商行

材料名称	规格/型号	除税信息价	含税信息价	单位	地区/时间
照明灯车	发动机50(kW)	查看价格	查看价格	台班	韶关市2010年8月信息价
单卧轴式混凝土搅拌机	出料容量150L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年4季度信息价
单卧轴式混凝土搅拌机	出料容量250L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年4季度信息价
双卧轴式混凝土搅拌机	出料容量1500L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年4季度信息价
单卧轴式混凝土搅拌机	出料容量250L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年3季度信息价
单卧轴式混凝土搅拌机	出料容量350L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年3季度信息价
双卧轴式混凝土搅拌机	出料容量350L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年3季度信息价
双卧轴式混凝土搅拌机	出料容量1000L	查看价格	查看价格	台班	汕头市2012年3季度信息价

材料名称	规格/需求量	报价数	最新报价（元）	供应商	报价地区	最新报价时间
强声驱离器	强声驱离器\|9个	1	查看价格	江苏宇盾警用装备制造有限公司	全国	2022-09-27
离背鸢尾	(1)苗木、花卉种类:离背鸢尾(2)株高或蓬径:高45cm 冠幅25cm(3)单位面积株数:36株/㎡(4)养护期:3个月\|1盆	3	查看价格	中山庭院管家园林绿化工程有限公司	广东	2022-11-09
电离器	AEROSTAT XC2\|2台	1	查看价格	苏州维立达电子科技有限公司	全国	2021-09-17
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离背鸢尾	高60-65cm,冠幅20-25cm\|84.7m²	3	查看价格	中山庭院管家园林绿化工程有限公司	广东深圳市	2022-01-15
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离轴照明常见问题

移动轴号，远离起始轴

远一点添加一条辅轴线，然后延伸轴网上那个的轴线到新辅轴线，标注跟着就拉远了。
怎样让轴网拼接之后轴号标注离轴线距离较远

怎样让轴网拼接之后轴号标注离轴线距离较远答：你好：这个没法设置，可以编辑轴号，不用显示。
轴网的距离

轴网变化了，图元的位置是不会跟着一起变的

离轴照明文献

投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计

格式：pdf

大小：1.2MB

页数： 7页

评分： 4.7

离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。

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计算全息法检测离轴凸非球面照明镜组初始结构设计

格式：pdf

大小：1.2MB

页数： 5页

评分： 4.8

设计一种特殊的应用于计算全息法(CGH)高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统。该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近似共光路系统,降低照明系统的制造精度。分析了照明系统的几何光路模型,将复杂的两用途系统简化,得到照明系统工作距离、照明系统焦距以及参考面曲率半径三个特征参量之间的关系。设计时,通过控制这几个特征参量,得到满足检测要求的系统初始结构。设计结果表明,该方法可以满足系统使用要求。

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星光照明设计观景距离

viewing position, viewing point

具有最佳位置和视角的观景地点；

viewing distance

人们凭视力观景的距离，或观赏景物所需的一定空间距离。据实验研究表明，人的双目及视野在60°角的圆锥体范围内，视距为景物高度1～3倍观赏时，效果较佳，小于它时有迫促感，大于它时有远离感。

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微波离子照明灯介绍

微波离子照明灯是利用微波来激发发光物质而产生的连续可见光谱，无灯丝、无电极的灯泡不仅光效强、低能耗，使用寿命能持续60000小时以上，光通量可几近持之以恒，整个寿命期限基本无衰减，始终放射出大于自己输入功率几倍的超强光亮度;光谱色温与太阳光线类似，更令人关注的是，它能明显地低析出紫外线、红外线，对减轻人的视觉疲劳、保护人的视力和皮肤大有益处。与其说它充满了以生物为本的特征，更是体现以人为本为先对人的健康倍加呵护。夜间对植物的光合作用也如同阳光照射一样，更能促进植物的生长，有效地缩短植物的成熟期。

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离轴光学系统光轴 (光学)

光轴是光学系统中，一条假想的线，定义（在一次近似下）光学系统如何传导光线。光线若和光轴重合，在光学系统中光将沿光轴传递。

若此光学系统有一定程度的转动对称（像相机镜头或是显微镜），光轴一般会是光学系统的旋转中心，若光学系统是由简单的透镜和反射镜组成，光轴会通过各平面的曲率中心（如焦点），和转动对称轴重合。光轴一般会和系统的机械中心重合，但也有例外，例如离轴光学系统。

若光线和光轴角度很小，而光线接近光学系统的轴，可以用几何光学中的近轴近似来处理，可以简化数学的运算。

在光纤中，光轴会和纤维芯重合，也称为光纤轴。

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