莱宝真空泵技术领域

半导体行业正持续迅速的发展着，为能满足客户对产品和工艺快速不断变化的需求，我们与客户之间的沟通从未象今天这样如此重要。

真空设备在所有半导体生产过程中发挥着极为重要的作用，针对特殊的生产要求必须选择适合的真空设备。

过去的几年里，为完全满足半导体行业需求，我们缩短产品开发周期，更加迅速的推出新的产品，大大提高了我们的服务质量。

所有工业品的生产与技术成果都必须经历广泛、高投入的研究与发展阶段。只有经过仔细研究、测试和开发过程的新产品才能投入到生产或大规模应用中。

应用于各研发领域的真空设备、装置及零备件，其尺寸和能力都是不同的。我们为满足这些研发用途而专门开发和生产特殊的专业产品。因此，我们能由始至终参与到客户的整个生产工艺过程中，并获得宝贵的经验以使本行业的合作伙伴也能根本受益。

莱宝真空泵SOGEVAC系列是单极油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀(选配)、出口过滤器、回油线路和和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。

安装在泵体中的偏心转子)有三块叶片，它们把泵分成三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。

当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩大，将气体从进气口吸入，气体经过空气滤芯，打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔容积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。

油在注入泵腔起密封、润滑和泵冷却的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集。而后在出口油雾分离器中被彻底过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度。

注:SOGEVAC系列泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性、易燃或易爆气体。

真空技术常常用有利于环保的工艺取代那些危害环境的工艺。真空泵及其它真空部件，如测量仪器和检漏仪可广泛应用于以下各工业领域:

·食品真空包装

·环保冰箱、空调

·高纯度与高强度金属的生产

·灯泡和彩色显像管

·平面显示器制造

产品发展设计和生产

许多年来，莱宝公司一直对于真空技术基础的研究和发展大量投入，总投入已达到我们总收入的10%，这也是莱宝能提供颇具有吸引力新型真空产品的重要原因。

发展新技术的过程中，莱宝不仅以产品的实际应用为导向，而且更加关注产品的整体质量。所有的泵及其附件在开发阶段，必定经过特殊的压力与持久性测试。莱宝与莱宝所有供应商的生产过程，都处于持续监控之中，以保证任何可能出现的产品缺陷都将在早期生产阶段被检测并及时消除。

SOGEVAC

抽速:10立方米每小时~1400立方米每小时

极限真空度:

SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B极限真空度为

<0.5mbar (无气镇分压强)

<1.5mbar (带气镇分压强)

SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的极限真空度为

<8×10负二次方mbar (无气镇分压强)

<7×10负一次方mbar (带气镇分压强)

排水蒸气能力:0.3~23公斤/小时

1、超强的排除水蒸气的能力。

2、出口油雾过滤器为标准配置，真空泵油循环使用，无油烟，清洁、环保、省油。

3、可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。

4、在低压强下仍能保持高的抽速。

5、内置自动防返油阀。

6、SV630以下为风冷，不需要水冷，经济方便。

7、低噪音，低振动。

8、结构紧凑，体型小，节省空间。

9、可以与各种附件配套使用，因而可以满足各种不同应用的需要。

主要技术参数为:

抽速?1.6m3/h?65m3/h

极限真空度?10-4mbar(无气镇分压强) 2×10-3mbar(无气镇全压强) 5×10-3mbar(带气镇全压强) 耐水蒸汽能力?25mbar?40mbar

欧瑞康莱宝的TRIVAC B系列双级油封旋片泵的主要特点?

1、内置油泵?对泵腔进行强制润滑。因此可以在入口压强为大气压的情况下连续工作。

2、内置自动防返油阀?可在停泵时自动将进气口截止?防止返油。

3、进气口和排气口有水平或垂直两种安装方式。

4、极强的耐水蒸汽能力。

另外?欧瑞康莱宝的TRIVAC B家族中还有以下用于特殊用途的真空泵。 -

(1)专门用于汽车刹车油注入的TRIVAC D16 B-DOT。 -

(2)用于制冷行业中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX?ATEX认证防爆泵。 -

(3)用于半导体行业的防腐蚀泵TRIVAC BCS系列。

真空泵排气过滤器学名真空泵油雾分离器（下面简称为油雾分离器）。主要作用：过滤真空泵油与气体，使真空泵排气口排出清洁干净的空气。

真空泵排气过滤器主要应用于油封旋片式真空泵，如：普旭真空泵、莱宝真空泵、贝克真空泵、里其乐真空泵、大路通真空泵、爱德华真空泵等用真空泵油作为介质抽除气体达到真空的设备。这种加装油雾分离器的油封旋片式真空泵具有排出气体清洁、不污染工作环境，适合厂房、室内使用等。

如果油雾分离器失效或损坏可直接影响真空泵对环境的污染程度，真空泵排气口会出现冒烟等情况。解决方法是联系供货商购买真空泵配件油雾分离器换掉损坏配件。油雾分离器的发明是真空泵整体性能的提升，它能有效的减少、杜绝：

1、防止真空泵油的大量减少

2、提高室内、厂房的清洁度

3、减小环境污染

油雾分离器因需过滤真空泵与气体，可能存在真空泵油含有少量不易过滤的杂质或是碳粒子，这样就直接造成了油雾分离器提前失效的危险。为了使油雾分离器使用寿命更长，大路通推荐油封旋片式真空泵使用客户应该选择专业的真空泵专用油，以防止油碳化而导致油雾分离器提前失效。