洁净室施工、检测与运行管理

第1章 洁净室的检测类别与项目

1.1 洁净室检测的类别

1.2 洁净室的竣工验收

1.2.1 竣工验收的外观检查

1.2.2 竣工验收的调试工作

1.2.3 竣工验收的检测项目

1.2.4 竣工验收所需文件

1.3 洁净室综合性能评价

1.3.1 ISO-14644 所规定的检测项目

1.3.2 NEBB所规定的检测项目

1.3.3 国内相关标准所规定的测试项目

1.4 洁净室的性能监测

1.4.1 国际标准 ISO 14644-2的规定

1.4.2 国家标准 GB 50073-2001关于监测的规定

1.5 洁净室测试时所处的状态2100433B

编辑推荐 洁净室（区）的日常运行和维护管理是保障其受控状态持续的重要条件。因此，国内外相关的标准、规范和指南中对运行和维护管理制定了各种基本模式与要求，提供了一系列可参照的章程和方法，为洁净室（区）的管理建立了依据。归纳整理了相关的检测仪器、仪表的功能、检测的方法、步骤以及测量的数据与规范化的检测报告。

本书内容分为上下两篇，上篇（第1～6章）主要讨论洁净室的检测，下篇（第7一11章）主要介绍洁净室的运行与管理。

上篇主要介绍了相关的检测仪器、仪表的功能，检测的方法、步骤以及测量数据的归纳整理与监测报告的规范化。下篇主要根据作者几十年洁净室的设计、建设与运行管理的经验，参考国内外先进的洁净室管理理念，详细介绍了洁净室在日常管理与运行中的问题。主要包括洁净室制度与纪律的建立、进出洁净室的材料、设备的规定、洁净服装的选择以及洁净室日常清洁工作等。最后，本书汇编了ISO 14644系列、ISO 14698系列标准术语和定义。

本书结合国内外新标准及作者的经验对洁净室检测的目的、要求与方法、适用的仪器、使用要点及检测报告，对洁净室维护与管理等方面都作了较为详尽的论述，是一本可读性高、实用性强的好书。