编辑推荐 洁净室(区)的日常运行和维护管理是保障其受控状态持续的重要条件。因此,国内外相关的标准、规范和指南中对运行和维护管理制定了各种基本模式与要求,提供了一系列可参照的章程和方法,为洁净室(区)的管理建立了依据。归纳整理了相关的检测仪器、仪表的功能、检测的方法、步骤以及测量的数据与规范化的检测报告。

洁净室的检测与运行管理造价信息

市场价 信息价 询价
材料名称 规格/型号 市场价
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作 者:涂光备,涂有编著

出 版 社:中国建筑工业出版社

出版时间:2008-9-1

版 次:1

页 数:277

字 数:451000

印刷时间:2008-9-1

开 本:16开

纸 张:胶版纸

印 次:1

I S B N:9787112101863

包 装:平装

本书内容分为上下两篇,上篇(第1~6章)主要讨论洁净室的检测,下篇(第7一11章)主要介绍洁净室的运行与管理。

上篇主要介绍了相关的检测仪器、仪表的功能,检测的方法、步骤以及测量数据的归纳整理与监测报告的规范化。下篇主要根据作者几十年洁净室的设计、建设与运行管理的经验,参考国内外先进的洁净室管理理念,详细介绍了洁净室在日常管理与运行中的问题。主要包括洁净室制度与纪律的建立、进出洁净室的材料、设备的规定、洁净服装的选择以及洁净室日常清洁工作等。最后,本书汇编了ISO 14644系列、ISO 14698系列标准术语和定义。

本书结合国内外新标准及作者的经验对洁净室检测的目的、要求与方法、适用的仪器、使用要点及检测报告,对洁净室维护与管理等方面都作了较为详尽的论述,是一本可读性高、实用性强的好书。

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第1章 洁净室的检测类别与项目

1.1 洁净室检测的类别

1.2 洁净室的竣工验收

1.2.1 竣工验收的外观检查

1.2.2 竣工验收的调试工作

1.2.3 竣工验收的检测项目

1.2.4 竣工验收所需文件

1.3 洁净室综合性能评价

1.3.1 ISO-14644 所规定的检测项目

1.3.2 NEBB所规定的检测项目

1.3.3 国内相关标准所规定的测试项目

1.4 洁净室的性能监测

1.4.1 国际标准 ISO 14644-2的规定

1.4.2 国家标准 GB 50073-2001关于监测的规定

1.5 洁净室测试时所处的状态2100433B

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洁净室的运行管理 洁净室的运行管理

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洁净室的运行管理——洁净技术是一门新兴的综合性科学技术,随着经济和科学技术的飞速发展,洁净技术在近20年发展十分迅速,各种规模、不同洁净度等级的洁净室在电子、精密机械、航天、冶金、生物制药、医疗、食品、化妆品等行业发挥着日益重要的作用,为提高产...

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净化空调系统、洁净室的运行及管理 净化空调系统、洁净室的运行及管理

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页数: 4页

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针对洁净室需注意一系列事项做出简单的论述,对加强净化空调系统的运行管理,洁净室厂房的安全、稳定运转,提出一些合理化建议。

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本书主要内容包括:(1)洁净室的重要性;(2)洁净室技术简介;(3)国内外洁净室设计、运行、施工、验收规范;(4)洁净室验收核心知识点;(5)洁净室检测原理、设备及步骤;(6)洁净室检测案例分析等。通过系统性阐述洁净室检测技术理论以及工程实践案例介绍,为建筑环境与能源应用工程新工科建设提供洁净室基础教育、人员培训和产业规范。

(一)建造投资费用高

高级别洁净室的建造费用很高,一般来说,100级垂直单向流的洁净室,其室内装修(墙、顶、地、门、窗等)和空调净化系统(包括制冷空调设备和管道配件、净化设备和配件等)的初投资大约为10000元人民币/m2;如果加上纯水制备设备和系统管道,纯气发生和系统管道,废水治理设备和管道,消防系统,供配电和自控系统,真空清扫系统等等,其单位面积的建造投资费用要高达25000~30000元人民币/ m2。

就拿已投产的某公司超大规模集成电路芯片生产线洁净室举例来说,该公司为月投片30000片8"硅片集成电路前工序生产线,有洁净室面积约12000m2,其中10000 m2是在中心部位,另2000 m2在边跨上。在中心部位的10000 m2洁净室中有4000 m2的1级、10级和100级的垂直单向流洁净室,另外6000 m2分别为1000级和10000级的非单向流洁净室,总送风量约6,400,000 m3/h。

该项目总投资约100亿人民币,其中动力设备和土建投资为20亿人民币,占总投资的五分之一。单核心部分的10000 m2的洁净室的建造费用就高达6000万美元(约5亿人民币)(日本三机株式会社施工),折合每平方米建造费用约50000元人民币/ m2。

(二)运行管理费用大

因为高级别洁净室净化风量大,新风量也大,温湿度要求严格,所以空气热湿处理和空气输配的能量消耗大,耗电多,运行费用贵。

还拿上述公司为例,其核心部分10000 m2洁净室总的送风量为6,400,000 m3/h,输送净化空气的风机耗电量为3840 Kw/h,全年电费为1659万元(每度电按0.6元/设计),空气热湿处理的耗电量约10000 Kw/h,全年电费为6000万人民币。全年空调净化系统本身的运行费用就高达7659万元人民币。折合每年单位面积的运行费用为7659元/m2年。

(三)灵活适应性强

因为,科学技术的发展很快,高科技的产品不断出现,尤其是电子工业的发展更是日新月异,像集成电路的发展2~3年就更新一代,TFT-LCD的发展速度更快1~2年就上一个台阶。这就要求为其服务的高级别的洁净室必须能适应其发展速度,有极好的灵活性和适应性。因为建造一个洁净厂房是百年大计,不是一、二年就会拆掉重建。因此,在设计和建造洁净厂房时,就要考虑到工艺的发展、变更,就要考虑到洁净厂房的灵活性和适应性。从一个洁净厂房的灵活适应角度,可将其分为三个层次,第一是不可变的部分。无论怎样改都不能改变的部分。如基础、梁、柱等结构部分;第二是可变但不容易变的部分。如洁净室的围护、装修等;第三是可变而且容易改变的部分。如动力、空气、水、气体溶剂的供给部分和废气、废水、废料等排放部分。

(四)安全、可靠性好

从前面(一)、(二)两条特点可以得出建造和使用这样的洁净室要付出何等的代价。但是为了生产出高可靠、高质量的高科技产品也必须具备这样的生产环境。因为,建造洁净室的目的是为使用,是为了得到高成品率合格产品。为了达此目的,设计和建造洁净室必须把安全可靠放在第一位。保证所建造的洁净室在洁净度、温湿度、风速、压力等所有参数必须满足生产工艺的要求,保证安全、可靠、不出事故。这一点绝不能马虎,更不能打折扣,要万无一失,只有这样才能有效益,才能达到建造洁净室的目的。

(1) 洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高级别单向流洁净区的面积。

(2)在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。 2100433B

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