洁净氮气真空烘箱基本要求

洁净度100级以上，真空度50KPar，可自动联动开启氮气阀门，温度：常温→230℃，整体不锈钢材料，可编程PLC控制器，多级过温保护系统。2100433B

一般用于材料及产品的应力释放，特别是晶圆或者微电子材料的应力释放。在高温环境中，半导体及金属材料极易氧化，所以需要抽真空与充氮气联动加以保护。同样的这些材料也更容易受到灰尘污染，100级甚至更高的洁净度可保护这些材料不被污染。

洁净氮气真空烘箱（又名：充氮真空烘箱）；其能提供洁净的真空环境，HOCHECK充氮真空烘箱能在450度以上提供真空无氧环境；被广泛的应用于半导体、医药、科研等行业，可同时实现真空、洁净、无氧和高温的烘箱 。

无需外接氮气。实现100%节氮

内部洁净度可达10级。

湿度和含氧量可控。

数据显示，记录输出和报警等功能。

洁净氮气管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU)，为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并注明管道材质

洁净氮气管道的材质则依使用的需求进行选择，316L BA管常使用于和芯片接触但不参与过程反应的气体。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。

洁净氮气管道在不锈钢熔炼制材过程中，每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕，不仅其表面粘有各种污染物，而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中，污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时。

所有无尘环境下生产工艺需求对未完成品，材料等做防氧化存储要求的行业。

特别适合应用于不同级无尘车间之间的传递。所有对材料氧化防护要求较高的用户，如军工，科研院所、

LED制造、集成电路制造、液晶面板制造、高端贴装等。2100433B