几何量测量器具使用手册

随着20世纪60年代初激光的出现，几何量测量技术的发展步入了崭新的时期，激光干涉仪在此时脱颖而出，并且在几何量测量领域发挥着越来越重要的作用。激光干涉仪为何如此广受欢迎呢？今天我们就来认识几何量测量担当——激光干涉仪。

原理

一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。

从激光头射出的激光光束①具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束②和透射光束③。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④。

如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。

如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。

功能应用

激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、直线度和垂直度；并可以校准机床的回转轴。

数控机床精度检测及补偿

线性模组/电动滑台/直线电机等定位精度

自动化设备调校

三坐标垂直度测量

代表品牌

目前国产唯一大规模商用的激光干涉仪品牌型号为中图仪器SJ6000,主要技术指标如下：

测量方式：单频

稳频精度：±0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：约8分钟

工作温度范围：(0～40)℃

存储温度范围：(-20～70)℃

环境湿度：(0～95)%RH

测量距离：(0～80)m

测量精度：±0.5ppm (0～40)℃

测量分辨力：1nm

测量最大速度：4m/s。

SJ6000激光干涉仪