用于在圆柱面、圆锥面或圆形平面上刻划有一定圆分度精度要求的线纹。普通圆刻线机用于刻制一般度盘,精度为±1′。高精度圆刻线机用于刻制各种光学分度头、光学回转工作台和经纬仪等的度盘,还可刻制圆光栅盘、圆感应同步器和码盘等,分度精度在0.2″~2″之间。圆刻线机由高精度蜗杆蜗轮副(见蜗杆传动)控制分度。普通圆刻线机大多用阿基米德蜗杆蜗轮副,蜗轮连同工作台安装在高精度主轴上。高精度圆刻线机采用特高精度的球面蜗杆蜗轮副,主轴一般采用带锥度的滑动轴承,精度要求极高。
高精度刻线机对使用环境有特殊要求,必须安装在恒温(20℃±0.05~±0.5℃)室内,并采取防尘、防振措施。
随着科学技术的发展,有的刻线机上采用了激光刻线机由光刻代替机械刻划,可在工作台移动的情况下完成动态刻线,刻线精度大为提高,国内比较成熟的激光刻线机厂家例如北京博奥嘉华激光科技有限公司生产的BVD50系列激光刻线机。
刻制精确分度线纹的机床。刻线机分为长刻线机和圆刻线机两类,每类都有普通和高精度两种。
用来刻划有一定距离精度要求的平行线纹(见图)。普通长刻线机用于刻制一般线纹尺;高精度长刻线机能刻制光学仪器和高精度机床的精密线纹尺、光栅尺、感应同步器或游标卡尺(见卡尺)等,刻线精度在0.001~0.005毫米之间。刻线时,工作台通过传动机构移动到所需要的位置,然后刀架向前送进到所需的线纹长度位置。刀具向下刻入工件,再向后拉,刻出线纹。刻线完成后刀架抬起,脱离工件,退回原处,工作台又作分度移动,如此循环地进行分度和刻线。刻线机装有计数器,用来预调所需刻划的线纹数。完成全部刻线后机床自动停止。长刻线机一般由高精度丝杠控制分度,并用校正装置校正由丝杠、导轨和其他原因引起的误差。刀架有固定刀架和浮动刀架两种。前者用于刻制线纹深度在0.1毫米以上的一般线纹尺;后者的刀具可随工件表面的微量不平度而上下,用于刻制线纹深度在0.02毫米以下的精密线纹尺。
使用中可能产生的问题及售后服务保证 (一).使用环境 雕刻机为高科技机电一体化设备,对工作环境有一定的要求。 1.避开强电、强磁等严重影响雕刻机信号传输的设备。如:电焊机、发射塔等。 2.使用三芯电源...
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本文从评价圆柱状金属膜电阻器激光刻螺线槽槽纹质量, 分析槽纹误差产生的原因, 影响因素及减小路径
伴随着国内市场竞争的日趋激烈,常规的MPW(多项目晶圆)布局也不能满足客户的要求,同时也不能最大限度地降低设计公司的研发成本,也不利于国内foundry厂市场的开拓。鉴于此,文章着重提出了利用光刻机挡板把光罩进行区域划分,在不增加流片和满足客户要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客户的流片费用。通过在15cm片上流片验证,更加突出了此优化光罩布局的方法在研发成本和满足客户要求等方面的优越性,因而这种布局对我国集成电路的发展和新产品的研发工作,特别是对国内中小企业的成长提供了有力的支持,也为foundry厂赢得市场提供了重要的手段。