激光干涉测速仪技术指标

用途及技术特点：用于数控设备、测量仪器等产品的直线轴 线性定位精度、俯仰扭摆小角 度精度、直线度 的检测与验收。 ★激光干涉仪系统所有测量功能均采用激光波长作为测量基准，具有溯源性。不采用四象 限传感器等测量角度或直线度方法。 ★仪器扩展性、兼容性和互换性：可以进行多轴机床的误差补偿及回转轴精度标定，可与 其他数字指示器设备配合使用 , 实现设备几何精度的检测。 ★双轴测量软件：可在一台计算机上连接并控制二台相同型号的激光系统，提供了同步采 集两平行轴数据的能力。 ★动态测量功能： 可以进行机床系统动态测试， 利用动态特性测量与评估软件 ,对导轨的 动态特性进行分析，对机器故障源进行诊断。 1、激光头： 1.1、 ★激光头具备 80米测量能力； 1.2、 ★激光稳频精度（开机一小时开始拍频） ：≤± 0.01ppm； 1.3、 ★系统预热（进入精密测量）准备时间：≤ 6分钟； 1.4、 接

用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1 简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及 坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相 关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。（ 1 微米比一根头发的 1/25 还细。由于太细，所以肉眼无 法看到，接近于传统光学显微镜的极限值）。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛 使用，为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数，但并不表 明都很精确。（在许多情况下精度比显示的分辨率低 10-100 倍）。实现 1 微米的测量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文