静电释放简介

半导体制造中特别容易产生静电释放，因为硅片加工保持在较低的温度中，经典条件为40%±10%相对湿度（RH）。这种条件容易使较高级别的静电荷生成。虽然增加相对湿度可以减少静电生成，但是也会增加侵蚀带来的玷污，因而这种方法并不实用。

静电释放带来的问题

尽管ESD发生时转移的静电总量通常很小（纳库伦级别），然而放电的能量积累在硅片上很小的一个区域内。发生在几个纳秒内的静电释放能产生超过1A的峰值电流，简直可以蒸发金属连线和穿透氧化层。放电也可能成为栅氧化层击穿的诱因。ESD带来的另一个重大问题在于，一旦硅片表面有了电荷积累，它产生的电场就能吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面（如图1 所示）。电视屏幕能吸引灰尘就是一个例子。此外，颗粒越小，静电对它的吸引作用越明显。随着器件关键尺寸的缩小 ，ESD对更小颗粒的吸引变得重要起来，能产生致命缺陷。为减少小颗粒玷污，硅片放电必须得到控制。

ESD的标准以及测试方法

根据静电的产生方式以及对电路的损伤模式不同通常分为四种测试方式：人体放电模式(HBM:Human-Body Model) 、 机 器 放 电 模 式 (MachineModel) 、 元 件 充 电 模 式 (CDM:Charge-Device Model)、电场感应模式(FIM:Field-InducedModel)，但是业界通常使用前两种模式来测试(HBM,MM) 。2100433B

ESD静电释放是指在不同电势差的情况下导致静电荷转移的现象。

3.1ESD-Electro Static Discharge, the transfer of electrostatic charge between bodies at different electrostatic potentials by direct contact or induced by electrostatic field.

ESD-静电释放，是指通过直接接触或静电场感应的方式，在不同电势差的情况下导致静电荷转移的现象。

型号含义：HK3095

HK3095 产品名称（人体静电释放仪）

▲ 标准型，智能型采用超低功耗设计，正常使用期间无需更换电池；

▲ 标准型，智能型电路部分整体环氧树脂密封，防腐、防水、防潮；

▲ 安全释放静电，安全可靠；

▲ 防爆静电触摸球，对人体不会造成电击感；

▲ 智能型配声光报警提示人体与静电触摸球接触可靠和静电释放安全；

▲ 标准型，智能型标实时检测电阻，确保接地可靠。（基本型与标准型不具有检测功能）

▲ 标牌、立柱采用304不锈钢材质，防腐防锈；标牌圆角人性化设计，有黄色、蓝色可选。