集成电路制造工艺员：中级目录

第1单元绪论

1．1集成电路产业发展的历史

1．2我国集成电路产业发展的历史和现状

思考题

第2单元半导位基础知识

2．1半导体物理基础知识

2．2晶体管原理

思考题

第3单元集成电路制造工艺

3．1半导体衬底制备

3．2氧化工艺

3．3光刻工艺

3．4掺杂工艺

3．5淀积和刻蚀

3．6多层金属化

3．7工艺集成

思考题

第4单元集成电路制造朝关设备及操作入门

4．1集成电路制造环境和安全生产

4．2氧化工艺设备及操作入门

4．3光刻工艺设备及操作入门

4．4掺杂工艺设备及操作入门

4．5淀积与刻蚀工艺设备及操作入门

4．6金属化工艺设备及操作入门

思考题

……

《集成电路制造工艺员(中级)》可作为集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）职业技能培训与鉴定考核教材，也可供中、高等职业院校相关专业师生，以及相关从业人员参加岗位培训、就业培训使用。

《集成电路制造工艺员(中级)》从强化培养操作技能，掌握一门实用技术的角度出发，较好地体现了本职业当前最新的实用知识与操作技术，对于提高从业人员基本素质，掌握中级集成电路制造工艺的核心知识与技能有直接的帮助和指导作用。本教材在编写中根据本职业的工作特点，从掌握实用操作技能，以能力培养为根本出发点，采用模块化的编写方式。本教材由劳动和社会保障部教材办公室、上海市职业培训指导中心依据上海1 X职业技能鉴定细目——集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）组织编写。

集成电路制造工艺员职业名称

集成电路制造工艺员

集成电路制造工艺员职业定义

从事集成电路制造中光刻、氧化扩散、离子注入、淀积刻蚀、金属化及外围设备保障的操作及维护人员。

集成电路制造工艺员职业等级

由低到高设置四个等级：

（一）集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）：分为集成电路制造工艺员（光刻）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（氧化扩散）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（离子注入）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（淀积刻蚀）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（金属化）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（外围设备保障）（国家职业资格四级）

（二）集成电路制造高级工艺员（国家职业资格三级）：分为集成电路制造高级工艺员（光刻）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（氧化扩散）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（离子注入）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（淀积刻蚀）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（金属化）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（外围设备保障）（国家职业资格三级）

（三）集成电路制造工艺师（国家职业资格二级）：分为集成电路制造工艺师（光刻）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（氧化扩散）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（离子注入）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（淀积刻蚀）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（金属化）（国家职业资格二级）

（四）集成电路制造高级工艺师（国家职业资格一级）

集成电路制造工艺员职业环境条件

净化室内、常温

集成电路制造工艺员职业能力特征

手指手臂灵活，色觉、味觉、嗅觉灵敏

集成电路制造工艺员基本文化程度

中等职业学校或高级中学毕业

该职业等级培训主要设置以下模块：

集成电路制造工艺员集成电路制造基础专业英语

使学员能识别集成电路制造中使用频率较高的英文单词，能正确识别集成电路制造设备与相关仪器名称。

集成电路制造工艺员集成电路制造工艺基础

要求学员了解硅材料和集成电路制造的初步知识、了解集成电路制造工艺的典型流程，并了解集成电路制造工艺所需的环境、条件及所需试剂、材料的特性。了解不同工艺步骤在集成电路制造中所起的作用。

集成电路制造工艺员集成电路制造关键工序技能训练

要求学员能按规范正确操作相应集成电路制造工序的仪器设备，并能规范进行相应工序废气物处理，对仪器设备的小故障能够进行查询。

集成电路制造工艺员适用对象

从事或准备从事本职业的技术人员

集成电路制造工艺员申报条件

参照《上海市职业技能鉴定申报条件》。

集成电路制造工艺员鉴定方式

集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）、集成电路制造高级工艺员（国家职业资格三级）、集成电路制造工艺师（国家职业资格二级）、集成电路制造高级工艺师（国家职业资格一级）采用非一体化鉴定方式：分为理论知识考试和操作技能考核两部分。理论知识考试采用闭卷笔试方式，技能操作考核采用现场实际操作和实践课题方式。理论知识考试和技能操作考核均实行百分制，成绩皆达60分以上者为合格。

集成电路制造工艺员鉴定场所设备

知识考试场所为标准教室。

技能操作考核场所应具备满足技能鉴定需要的模拟仿真器具及集成电路制造工作所需的工具、材料和设备。