集成电路电路板生产过程中,FPC/PCB湿流程绝大部分工艺都是相似的。各个工艺环节对纯水的要求也是大同小异。
中文名称 | 集成电路纯水设备 | 系统特点 | 系统能耗低,有效节约能源 |
---|---|---|---|
关键指标 | 电导率(电阻率),总硅,pH值等 | 分 类 | 预处理加离子交换纯水系统等 |
集成电路纯水设备工艺流程
线路板纯水的工艺大致分成以下几种:
流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点
流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
流程如下(最新工艺性价比最高):自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中 间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)
集成电路用纯水水质
国家电子级纯水标准
国家电子级纯水标准
中国国家电子级超纯水规格 GB/T 11446.1-1997
电阻率 25℃ MΩ*cm | 硅 ≤μg/L | 铜 ≤μg/L | 锌 ≤μg/L | 镍 ≤μg/L | 钠 ≤μg/L | 钾 ≤μg/L | 氯 ≤μg/L | >1μm颗粒 ≤个/ml | 细菌 ≤个/ml | 硝酸根 ≤g/L | 磷酸根 ≤μg/L | 硫酸根 ≤μg/L | TOC ≤μg/L | |
EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW-II | ≥15 ** | 10 | 0 | 0 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
注*(95%时间不低于17),**(95% 时间不低于13)。
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
指标\级别 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
电阻率 MΩ,cm(25℃) | 18以上,(95%时间)不低于17 | 15,(95%时间)不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅,最大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1μm微粒数,最大值,个/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
细菌个数,最大值,个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
铜,最大值,μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
锌,最大值,μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
镍,最大值,μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
钠,最大值,μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
钾,最大值,μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯,最大值,μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根,最大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根,最大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根,最大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
总有机酸,最大值,μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
集成电路电路板生产过程中,FPC/PCB湿流程绝大部分工艺都是相似的。各个工艺环节对纯水的要求也是大同小异。我们在集成电路生产过程中常用到的电镀铜,锡,镍金;化学镀镍金;PTH/黑孔;表面处理蚀刻等生产过程都需要用到不同要求的纯水。因为线路板生产过程中使用的药水不同,生产工艺流程的差异,对纯水的品质要求也不一样。最关键的指标是:电导率(电阻率),总硅,pH值,颗粒度。线路板、电路板用纯水因为本身工艺流程的不同对纯水制造的工艺流程也不同。
按照目前绝大部分集成电路线路板厂的使用情况来看,大概分为以下三种类型:预处理加离子交换纯水系统;反渗透加离子交换系统;高效反渗透加EDI超纯水设备。
科立洁公司的纯水设备,是我国优质产品。其特点为: ①采用进口优质名牌产品以保证系统运行稳定。 ②设备、管材、阀门的材质选择应确保水的纯度。超纯水箱采用PVDF内衬、并设氮气保护,管材阀门选用时首先...
连续电除盐(EDI)技术是一项日臻成熟的制取高纯水的技术。十年来在国内已经逐步取代传统的离子交换技术,在电力、电子、太阳能、化工、医药等水处理,纯化水系统中大规模使用。据统计2011年中国EDI产品的...
超纯水设备和纯水设备对应的是水质要求,因此,不同等级的水质要求,就需要不同工艺的设备。超纯水设备是在纯水设备基础上的增强版,多了二级反渗透,EDI,抛光混床,TOC等。深圳纯水一号水处理为您解答。
WWW.LTLD.NET.CN 技术支持: 18904059090 WWW.LTLD.NET.CN 医药行业用纯水制备工艺方案 -纯水设备方案 医药行业用超纯水概述 医药用纯水对水质要求相对来说更加严格,更加高。常要求超纯水的电阻值应高于 15 兆以 上。为保证医药用超纯水的用水安全, 超纯水的处理设备整个系统也都由全不锈钢材质组合 而成,而且在用水点之前都必须装备杀菌装置。 我们公司从整个医药行业用超纯水的特点出 发,针对不同用户对高纯水的不同要求,采用反渗透, EDI 等最新工艺,比较有针对性地设 计出成套高纯水处理工艺,以满足药厂、医院的纯化水制取、大输液制取的用水要求。 医用超纯水的水质标准 ·2000 版药典标准 ·GMP 标准 ·电阻率:≥ 15MΩ .CM ·电导率:≤ 0.5μS ·氨≤ 0.3μg/ml ·硝酸盐≤ 0.06μg/ml ·重金属≤ 0.5μg/
化工行业超纯水设备使用规范 一、化工超纯水设备概述 化工超纯水设备顾名思义主要用于化工行业,设备组成主 要有石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器、反渗透主机、 后处理装置等。超纯水设备采用先进的反渗透膜,可以有效的 去除掉水中杂质。 二、化工超纯水设备工作原理 1、主要部分流入树脂 /膜内部,而另一部分沿模板外侧流 动,以洗去透出膜外的离子。 2、树脂截留水中的溶存离子。 3、被截留的离子在电极作用下,阴离子向正极方向运动, 阳离子向负极方向运动。 4、阳离子透过阳离子膜,排出树脂 /膜之外。 5、阴离子透过阴离子膜,排出树脂 /膜之外。 6、浓缩了的离子从废水流路中排出。 7、无离子水从树脂 /膜内流出。 三、化工超纯水设备工艺流程 1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软 水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→ 离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→