采用HT-CVD 技术生产的硬质涂层材料主要有:TiC、TiN、TiCN、Cr7C3、TiBN、Al2O3 等单涂层和它们的复合涂层材料。高温化学气相沉积工艺过程包括工件沉积前处理(工件清洗、强化处理等)、装炉、检漏、加热升温、沉积、冷却、检查和包装等。

在整个沉积工艺过程中,要严格控制各加热温度和各种气体流量。特别对CH4,TiCl4等反应气体通人时间和流量,更需按工艺要求控制到位,否则对涂层质量会有很大影响。

沉积工艺举例如下

TiC 涂层

沉积温度:1000~1050℃

沉积室压力: (1~2)×104Pa

沉积时间:60~ 180min

各反应气体流量: 主H2 7000~ 12000SCCM;CH4 4000-~8000SCCM (SCCM 即cm3/min);TiCl: 加热温度45~65℃;载气H2 4000~6000SCCM

TiN 涂层

沉积温度: 950~1000℃

沉积室压力: (1~2)X104Pa

沉积时间:60~ 180min

各反应气体流量:主H2 8000~13000SCCM;N2 6000~ 10000SCCM;TiCl ;加热温度45~65℃;载气H2 5000 9000SCCM2100433B

HT-CVD造价信息

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HT-CVD简介常见问题

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HT-CVD简介文献

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HT泡沫混凝土 河南华泰 阅读: 0次 上传时间: 2008-10-17 推荐人: 河南华泰 (已传资料 348 套 ) 笔名:陆君 年龄: 25 专业:建筑 等级: 性别:男 积分: 846 行业:建材类 经验值: 352 注册时间: 2008-09-01 最近登陆时间: 2008-10-13 09:13 所在地区:河南省 -南阳市 [ 加为好友 ] [ 给我留言 ] 开关柜结构工艺对其性能和品质的影响 室内空气品质预测新方法 室内空气品质的影响因素及改进措施 国内外室内空气品质研究的现状 用活性炭改善室内空气品质的机理 浅谈设备选型与别墅品质 简介: 现有泡沫混凝土,基本都采用植物皂类、动物蛋白类做为水泥用泡沫剂或发 泡剂的单一型泡沫剂。主要成分均为(阳离子、阴离子、非离子型)的单一体系表 面活性剂的类系物。泡沫表面张力脆弱,易消泡。泡沫浆料在水化反应过程受水泥 包

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