中文名 | 高真空蒸发系统 | 产 地 | 中国台湾 |
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学科领域 | 物理学、电子与通信技术、材料科学 | 启用日期 | 2017年9月28日 |
所属类别 | 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备 |
高真空电子束蒸发镀膜仪利用经过磁场偏转的高能量电子束对蒸发物料进行电子加热,蒸发材料挥发后沉积到样品表面,沉积成薄膜材料。 该设备可用于Ti、Au的高质量薄膜的制备,广泛应用于科学研究与半导体制造领域。 2100433B
电子束蒸发源:8kW,2MHz 晶圆尺寸:最大6英寸 真空度:10E-7Torr 蒸发物料:Ti、Au等 典型沉积速率:0.1-10A/s 样品台最大倾斜角:±45° 样品台工作距离:40-60cm。
有很多原因,看一下是不是漏了(漏气)、扩散泵有没有反油之类的!还有多久没保养了,得保养一下!佛欣提供本内容
漏气,高真空泵该维护,产品放气量大
高真空蝶阀价格在:700元到1600元之间;电动高真空蝶阀采用回转型电动、电子调节式阀门驱动装置,可以通过外接电源的切换(用手动转位开关或电脑控制)或外部输入信号,来实现阀门开、关或中间位置的控制,从...
真空蒸发镀膜是生产建筑幕墙玻璃常用的一种方法,为保证膜层附着力等各项性能,合理的工艺流程是必要的。结合生产实际,对有关的工艺进行了详细的分析,并给出了一些典型的工艺参数
QC小组成员针对梅山水道一期工程\"真空预压抽真空施工效率低\"的问题设立目标值。灵活运用QC工具找出问题症结,用因果关联图分析原因,合理选用PDPC预案及正交试验法,最终提高了真空预压抽真空施工效率,完成了目标值。
质谱计必须在高真空下才能工作。用以取得所需真空度的阀泵系统,一般由前级泵(常用机械泵)和油扩散泵或分子涡轮泵等组成。扩散泵能使离子源保持在10~10毫米汞柱的真空度。有时在分析器中还有一只扩散泵,能维持10~10毫米汞柱的真空度。
腔室本底真空优于5x10-8torr;4 个7cc的蒸发坩埚;2个热蒸发电极。
(1)一级蒸发冷却系统
我国有一些地区夏季空调室外计算干、湿球温度不高,用直接蒸发对室外空气进行冷却,冷却后的状态可以达到一般舒适性空调的送风要求。
(2)两级蒸发冷却系统
室外空气先经间接冷却处理后在进行直接蒸发冷却,以获得温度和含湿量均低的送风状态。
(3)三级蒸发冷却系统
第一级间接蒸发冷却——室外空气用冷却塔的冷水通过空气冷却器来冷却。第二级为间接蒸发冷却。第三级为直接蒸发冷却。
(1)冷却新风
(2)制取空调冷水