中文名 | 高压液封直拉法 | 外文名 | high pressure liquid encapsulation pulling method |
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释 义 | 高压下的液体复盖直拉法 | 性 能 | 高纯、高电子迁移率 |
特 点 | 简化生产工艺,降低成本 | 制 备 | 砷化镓单晶 |
目前用于制备磷化镓的高压单晶炉可充100-200大气压的惰性气体。这种工艺的拉晶技术大体上和液封直拉法相同,只是因为炉内惰性气体压力很大,因此引起强烈的对流,从而给单晶生长带来更多的困难。但它目前仍然是从熔体中生长大直径磷化物单晶的最好方法之一。
高压液封直拉法是用高压单晶炉拉制GaAs单晶,拉晶时炉内惰性气体压力为3-6兆帕,B2O3覆盖层的厚度为10-20毫米。由于其合成温度低,时间短,则可有效地控制硅及其他杂质的污染,使半绝缘GaAs堆晶的迁移率大幅度提高。而且,这一方法还可制取较大直径的圆形<100>晶片。工艺中控制砷/镓比是获得半绝缘不掺杂质单晶的关键。
高压液封直拉法,可提高单晶纯度,扩大<100>单晶圆片直径,简化生产工艺,降低成本。比水平法和常压直拉法的单晶,更能符合微波场效应器件和超高速大容量集成电路的需要。
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由于Ⅲ一V族化合物半导体中的磷化铟、磷化镓等在熔点时具有很高的离解压,因此从熔体中生长单晶的工艺变得十分困难。自从出现液封直拉法后,又进一步改进炉子的机械结构强度,解决了由于炉内充高压惰性气氛带来的高压气体密封问题。采用氧化硼为密封剂,进行磷化镓等直拉单晶生长,这种技术称为高压液封直拉法。
化工生产中,把管子弯下来放进一个液体槽中,以达到密封关内气体、防止漏气的作用,所用到的承装液体的槽就叫液封槽。
套化工定额制作安装子目.按重量算,内衬等综合吨位.有子目.
全液封就是表盘内装有和水的调和物 比利是4:6 半液封不是整个表盘装有调和物 只有机械部分装 液封水表:用于抄表的计数字轮或整个...
水表发展趋势与小口径干湿式水表对比 水表基本上用于贸易结算, 用户面大量广, 无疑是最重要的法制 计量器具之一。 水表必须符合所使用的国家法规的要求。 在我国水表 列为重点管理计量器具, 属强制性检定计量仪表并有具体的实施方法 按最新的国际标准和国际建议。 水表在各种流量计中属于结构简单、 应用最广泛的流量仪表, 也 是最重要的法制计量仪表。 水表是按其使用用途来定义和划分的, 在 测量条件下用于连续测量、 记忆和显示流经测量传感器的水体积的计 量仪表都为水表, 这当中既包括了我们通常概念中的旋翼式水表、 螺 翼式水表、活塞式水表等基于机械原理工作的流量计, 也有基于电子 或电磁原理工作的流量计,如电磁流量计、超声流量计等。另外带电 子装置水表是一种在机械式水表上添加了各种辅助装置的水表, 以满 足管理和控制的需要,如各类预付费水表和电子远传水表。 一、目前国内水表发展趋势。 随着电子技术
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《电子学名词》第一版。 2100433B
1993年,经全国科学技术名词审定委员会审定发布。