高速旋转激光直写光刻机主要功能

伴随着国内市场竞争的日趋激烈,常规的MPW(多项目晶圆)布局也不能满足客户的要求,同时也不能最大限度地降低设计公司的研发成本,也不利于国内foundry厂市场的开拓。鉴于此,文章着重提出了利用光刻机挡板把光罩进行区域划分,在不增加流片和满足客户要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客户的流片费用。通过在15cm片上流片验证,更加突出了此优化光罩布局的方法在研发成本和满足客户要求等方面的优越性,因而这种布局对我国集成电路的发展和新产品的研发工作,特别是对国内中小企业的成长提供了有力的支持,也为foundry厂赢得市场提供了重要的手段。

道闸 主要功能： 功能一，手动按钮可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、无线遥控可作 ‘升’‘降’‘停’及对手动按钮的 ‘加锁’‘解锁 ’操作 ; 功能二，停电自动解锁，停电后可手动抬杆 ; 功能三，具有便于维护与调试的 ‘自检模式 ’; 道闸 道闸又称挡车器，最初从国外引进，英文名叫 Barrier Gate ，是专门用于道路上限 制机动车行驶的通道出入口管理设备 ，现广泛应用于公路收费站、 停车场系统 管理车 辆通道，用于管理车辆的出入。电动道闸可单独通过无线遥控实现起落杆，也可以通过 停车场管理系统 （即 IC 刷卡管理系统）实行自动管理状态，入场取卡放行车辆，出场 时，收取 停车费 后自动放行车辆。