高速旋转激光直写光刻机技术指标
激光波长405 nm，分辨率达100nm。
高速旋转激光直写光刻机造价信息
通过激光与材料的相互作用，调节样品台旋转及X轴运动速度，可以实现类光栅结构点线阵列、任意图形和灰度图形的激光刻写。
高速旋转激光直写光刻机技术指标常见问题
-
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。光刻机(Mask Aligner)...
-
使用中可能产生的问题及售后服务保证 （一）．使用环境 雕刻机为高科技机电一体化设备，对工作环境有一定的要求。 1．避开强电、强磁等严重影响雕刻机信号传输的设备。如：电焊机、发射塔等。 2．使用三芯电源...
-
1、钢筋55-60kg/m2左右，混凝土0.4m3/m2左右；2、50kg/m2左右，混凝土0.6m3/m2左右3、钢筋55-60kg/m2左右，混凝土0.55m3/m2左右4、钢筋120kg/m2左...
高速旋转激光直写光刻机技术指标文献
利用光刻机挡板优化MPW光罩布局
伴随着国内市场竞争的日趋激烈,常规的MPW(多项目晶圆)布局也不能满足客户的要求,同时也不能最大限度地降低设计公司的研发成本,也不利于国内foundry厂市场的开拓。鉴于此,文章着重提出了利用光刻机挡板把光罩进行区域划分,在不增加流片和满足客户要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客户的流片费用。通过在15cm片上流片验证,更加突出了此优化光罩布局的方法在研发成本和满足客户要求等方面的优越性,因而这种布局对我国集成电路的发展和新产品的研发工作,特别是对国内中小企业的成长提供了有力的支持,也为foundry厂赢得市场提供了重要的手段。
光刻机用精密碳化硅陶瓷部件制备技术
第 37卷 第 3期 现 代 技 术 陶 瓷 Vol. 37 No. 3 2016 年 6 月 Advanced Ceramics June 2016 中图分类号： TB321 文献编号： 1005-1198 (2016) 03-0168-11 文献标识码： A DOI： 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2016.02.011 光刻机用精密碳化硅陶瓷部件制备技术 刘海林，霍艳丽，胡传奇，黄小婷，王春朋，梁海龙，唐 婕，陈玉峰 中国建筑材料科学研究总院，北京 100024 摘 要：本文介绍了光刻机用碳化硅陶瓷结构件的特点及其对材料的要求，分析了碳化硅 陶瓷在光刻机中作为结构件材料使用的优势，着重介绍了中国建筑材料科学研究总院在精密碳 化硅结构件的制备领域所取得的技术成果，列举了精密碳化硅结构件在光刻机等集成电路制造 关键装备中的应用。 关键词：碳化硅；凝胶注模；素坯
小型台式无掩膜光刻机Microwriter ML3，通过激光直写在光刻胶上直接曝光制作所需要的图案，而无需掩膜版，专为实验室设计开发，适用于各种实验室桌面。
Focus Lock自动对焦
Focus Lock技术是利用自动对焦功能对样品表面高度进行探测，并通过Z向调整和补偿，以保证曝光分辨率。
直写前预检查
软件可以实时显微观测基体表面，并显示预直写图形位置。通过调整位置、角度，直到设计图形按要求与已有结构重合，保证直写准确。
标记物自动识别
点击“Bulls-Eye”按钮，系统自动在显微镜图像中识别光刻标记。标记物被识别后，将自动将其移动到显微镜中心位置。
光学轮廓仪
Microwriter ML3 配备光学轮廓探测工具，用于匀胶后沉积层，蚀刻层，MEMS等前道结构的形貌探测与套刻。Z向最高精度100 nm，方便快捷。
简单的直写软件
MicroWriter ML3由一个简单直观的Windows界面软件控制。工具栏会引导使用者进行简单的布局设计、基片对准和曝光的基本操作。该软件在Windows10系统下运行。
Clewin 掩模图形设计软件
可以读取多种图形设计文件（DXF, CIF, GDSII, 等）
可以直接读取TIFF, BMP 等图片格式
书写范围只由基片尺寸决定
电子/半导体器件
微/纳电机系统
自旋电子学
传感器
微流控
材料科学
生物实验室芯片
光子学
......
高速旋转激光直写光刻机相关推荐
- 相关百科
- 相关知识
- 相关专栏
- 高速枕式自动包装机
- 高速模组贴片机
- 高速滚动轴承与阻尼器集成结构的基础研究
- 高速激光打标机
- 高速焊接熔池流体动力学形态及焊缝成形机理的研究
- 高速电弧放电加工技术基础研究
- 高速电路交换数据业务
- 高速相机
- 高速相机系统
- 高速磁悬浮牵引供电系统
- 高速磁浮列车电机驱动技术
- 高速走丝电火花数控线切割机床维修技术
- 高速车床
- 高速轧机线材生产知识问答
- 高速轧机线材生产（第2版）
- 高速远程滑坡干碎屑流动力学机理的研究
- 亿阳信通中标环城高速公路晋江至石狮段机电工程项目
- 中国水电路桥武邵高速公路六标项目质量检验试验计划
- 基于超磁致伸缩效应的新型液压高速开关阀
- 乍嘉苏高速公路改性沥青SMA—13面层试验段施工
- 乍嘉苏高速公路改性沥青SMA-13面层试验段施工
- 张涿高速南水北调干渠特大桥主桥边跨现浇段预压施工
- 新型自行式全旋转桥梁检修车在桥梁工程中的应用
- 昭待高速公路路面预防性养护工程施工总结-推荐下载
- 低摩擦低泄漏新型旋转式空调压缩机的设计与分析
- 依七高速公路施工期环境保护与水土保持管理方案
- 在全省高速公路建设管理工作会议上的讲话-精选资料
- 基于GIS与羊城通的高速公路行驶车辆监管模式
- 中国高速铁路接触网施工技术与验收标准及及注意事项
- 云南省高速公路建设施工安全事故特点及预防对策解析
- 高速公路景观设计
- 影响高速公路路堑高边坡稳定的因素及其防护治理措施
最新词条
安徽省政采项目管理咨询有限公司
数字景枫科技发展（南京）有限公司
怀化市人民政府电子政务管理办公室
河北省高速公路京德临时筹建处
中石化华东石油工程有限公司工程技术分公司
手持无线POS机
广东合正采购招标有限公司
上海城建信息科技有限公司
甘肃鑫禾国际招标有限公司
烧结金属材料
齿轮计量泵
广州采阳招标代理有限公司河源分公司
高铝碳化硅砖
博洛尼智能科技（青岛）有限公司
烧结刚玉砖
深圳市东海国际招标有限公司
搭建香蕉育苗大棚
SF计量单位
福建省中亿通招标咨询有限公司
泛海三江
威海鼠尾草
Excel 数据处理与分析应用大全
广东国咨招标有限公司
甘肃中泰博瑞工程项目管理咨询有限公司
山东创盈项目管理有限公司
当代建筑大师
拆边机
广西北缆电缆有限公司
大山槟榔
上海地铁维护保障有限公司通号分公司
舌花雏菊
甘肃中维国际招标有限公司
华润燃气（上海）有限公司
湖北鑫宇阳光工程咨询有限公司
GB8163标准无缝钢管
中国石油炼化工程建设项目部
韶关市优采招标代理有限公司
莎草目
建设部关于开展城市规划动态监测工作的通知
电梯平层准确度
广州利好来电气有限公司
四川中泽盛世招标代理有限公司