硅热氧化工艺

硅(Si)与含有氧化物质的气体,例如水汽和氧气在高温下进行化学反应,而在硅片表面产生一层致密的二氧化硅(SiO2)薄膜。这是硅平面技术中一项重要的工艺。

硅热氧化工艺基本信息

中文名称 硅热氧化工艺 温    度 900~1200℃
反应物 氧气 水汽 硅 反    应 硅片表面发生化学反应
学    科 化学

硅热氧化工艺造价信息

市场价 信息价 询价
材料名称 规格/型号 市场价
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行情 品牌 单位 税率 供应商 报价日期
化工艺 普通套强化线 查看价格 查看价格

13% 温心家园门业西北办事处
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材料名称 规格/型号 除税
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行情 品牌 单位 税率 地区/时间
氧化碳气体保护焊机 电流250A 查看价格 查看价格

台班 汕头市2012年4季度信息价
氧化碳气体保护焊机 电流250A 查看价格 查看价格

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氧化碳气体保护焊机 电流250A 查看价格 查看价格

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氧化碳气体保护焊机 电流250A 查看价格 查看价格

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材料名称 规格/需求量 报价数 最新报价
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供应商 报价地区 最新报价时间
一体化设备A/O+接触氧化工艺 10m3/d|1套 3 查看价格 广州海科滤膜科技有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 20m3/d|1套 3 查看价格 广州海科滤膜科技有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 15m3/d|1套 3 查看价格 广州海科滤膜科技有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 20m3/d|1套 3 查看价格 广和环保科技(深圳)有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 15m3/d|1套 3 查看价格 广和环保科技(深圳)有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 10m3/d|1套 3 查看价格 广和环保科技(深圳)有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 30m3/d|1套 3 查看价格 广和环保科技(深圳)有限公司 广东   2022-08-26
一体化设备A/O+接触氧化工艺 25m3/d|1套 3 查看价格 广和环保科技(深圳)有限公司 广东   2022-08-26

硅热氧化工艺常见问题

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硅热氧化工艺文献

PE隔板的热氧化失效形貌特征研究 PE隔板的热氧化失效形貌特征研究

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评分: 4.6

根据PE隔板粉化样品的光学显微镜分析,发现隔板的粉化特征有两种。一种为有孔洞产生的穿透粉化;一种是出现裂纹的龟裂粉化。经过场发射扫描电镜能谱的微区元素分布的测试,发现PE隔板的白色粉化区域中,主要元素是作为隔板填料的Si和O,而其中碳含量显著降低,甚至测试不到。认为PE隔板在正极板附近强氧化性环境中,发生了热氧化降解反应。而且这个机制是引起粉化失效的主要原因。

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不锈钢表面镀铝-热氧化处理制备氧化铝膜及其性能 不锈钢表面镀铝-热氧化处理制备氧化铝膜及其性能

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采用无机熔融盐电镀铝、热浸镀铝工艺联合的方法在钢基材表面制备了一层平整、连续的铝镀层,研究了铝镀层在不同氧化时间下的氧化行为。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱分析(EDS)对氧化层的形貌和成分进行分析,并考察了氧化层的硬度和耐腐蚀性能。结果表明:将无机熔融盐电镀铝法和热浸镀铝法相结合可获得良好的铝镀层;铝镀层在900℃下热处理20 h后,可获得连续致密的Al2O3膜;Al2O3层有效提高了钢基材的表面硬度和耐腐蚀性能。

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热氧化器有四种基本类型。分别是直燃式热氧化器(也称为后燃烧器),热回收式热氧化器,蓄热式热氧化器(RTO)和无焰热氧化器(FTO)。这四种类型热氧化 器都是按照上述热氧化工艺的原理运行,有效地强化氧气和废液废气污染物之间的热氧化反应。

直燃式热氧化器(也称为后燃烧器)

直燃式热氧化器或后燃烧器是最简单的一种热氧化器。

这种热氧化器不带任何热回收设备,不能回收利用燃烧过程中产生的热量。 一个典型的直燃式热氧化器系统,通常包括燃烧器、燃烧室、 风机、空气/燃料控制组件、热工仪表及自动控制系统、烟囱。一般来说,直燃式热氧化器比其他类型热氧化器的投资要少。但是, 这种热氧化器用于处理吸热型废物流体时,运行成本(燃料消耗)较高。

回收式热氧化器

热回收式热氧化器是在直燃式热氧化器的基础上,增加燃烧室后部的热回收利用部分。这种热氧化器系统配套使用热回收利用设备,如:气-气热交换器、余热锅炉、气-液热交换器,等等,大大提高热氧化器系统效率。燃烧室后部的热回收设备,通过利用热氧化器燃烧室 的有效热量生产蒸汽、加热工艺气流或液流,从而降低辅助燃料消耗量。热回收式热氧化器系统可以带单级热回收设备;也可以带多级热回收设备。除以上图示的热回收式热氧化器系统之外,热回收式热氧化器还可以与空气预热器及 其他热回收装置如:热油加热器、省煤器、沥青加热器等配套使用。热回收式热氧化器,可用于处理各类吸热和/或放热型复杂组分的废气及废液。

蓄热式热氧化器

蓄热式热氧化器是在热氧化阶段中加入蓄热式交换器,预热VOC废气,再进行氧化反应。

随着蓄热材料的发展,目前蓄热式热交换器的热回收率已经达到95%以上,而且占用空间越来越小,这样辅助燃烧的消耗量很小。同时,由于现在的蓄热材料都选用陶瓷填料,所以可处理腐蚀性或含有颗粒物的VOC废气。

无焰热氧化器

无言热氧化器是无明火的热氧化器,不常用。

热氧化器种类

热氧化器有四种基本类型。分别是直燃式热氧化器(也称为后燃烧器),热回收式热氧化器,蓄热式热氧化器(RTO)和无焰热氧化器(FTO)。这四种类型热氧化 器都是按照上述热氧化工艺的原理运行,有效地强化氧气和废液废气污染物之间的热氧化反应。

直燃式热氧化器(也称为后燃烧器)

直燃式热氧化器或后燃烧器是最简单的一种热氧化器。

这种热氧化器不带任何热回收设备,不能回收利用燃烧过程中产生的热量。 一个典型的直燃式热氧化器系统,通常包括燃烧器、燃烧室、 风机、空气/燃料控制组件、热工仪表及自动控制系统、烟囱。一般来说,直燃式热氧化器比其他类型热氧化器的投资要少。但是, 这种热氧化器用于处理吸热型废物流体时,运行成本(燃料消耗)较高。

回收式热氧化器

热回收式热氧化器是在直燃式热氧化器的基础上,增加燃烧室后部的热回收利用部分。这种热氧化器系统配套使用热回收利用设备,如:气-气热交换器、余热锅炉、气-液热交换器,等等,大大提高热氧化器系统效率。燃烧室后部的热回收设备,通过利用热氧化器燃烧室 的有效热量生产蒸汽、加热工艺气流或液流,从而降低辅助燃料消耗量。热回收式热氧化器系统可以带单级热回收设备;也可以带多级热回收设备。除以上图示的热回收式热氧化器系统之外,热回收式热氧化器还可以与空气预热器及 其他热回收装置如:热油加热器、省煤器、沥青加热器等配套使用。热回收式热氧化器,可用于处理各类吸热和/或放热型复杂组分的废气及废液。

蓄热式热氧化器

蓄热式热氧化器是在热氧化阶段中加入蓄热式交换器,预热VOC废气,再进行氧化反应。

随着蓄热材料的发展,蓄热式热交换器的热回收率已经达到95%以上,而且占用空间越来越小,这样辅助燃烧的消耗量很小。同时,由于蓄热材料都选用陶瓷填料,所以可处理腐蚀性或含有颗粒物的VOC废气。

无焰热氧化器

无言热氧化器是无明火的热氧化器,不常用。

①工艺硅胶要具有好的操作性能。

②工艺硅胶的流动性更好,粘度低容易操作。

③工艺硅胶的缩水率越小越好。

④工艺硅胶的拉力要好。

⑤做出来的硅胶模具不能变形。

⑥工艺品复模硅胶硬度要适合产品使用。

⑦耐高温,翻模次数多,使用寿命越长越好,耐酸碱耐老化。

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