干化刻蚀机主要功能

道闸 主要功能： 功能一，手动按钮可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、无线遥控可作 ‘升’‘降’‘停’及对手动按钮的 ‘加锁’‘解锁 ’操作 ; 功能二，停电自动解锁，停电后可手动抬杆 ; 功能三，具有便于维护与调试的 ‘自检模式 ’; 道闸 道闸又称挡车器，最初从国外引进，英文名叫 Barrier Gate ，是专门用于道路上限 制机动车行驶的通道出入口管理设备 ，现广泛应用于公路收费站、 停车场系统 管理车 辆通道，用于管理车辆的出入。电动道闸可单独通过无线遥控实现起落杆，也可以通过 停车场管理系统 （即 IC 刷卡管理系统）实行自动管理状态，入场取卡放行车辆，出场 时，收取 停车费 后自动放行车辆。

干法刻蚀工艺总结 离子束刻蚀机（ IBE-150A） 背景 : 利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子， 氩离子经过阳极电场的加速对样品表面 进行物理轰击， 以达到刻蚀的作用。 把 Ar、Kr 或 Xe之类惰性气体充入离子源放 电室并使其电离形成等离子体， 然后由栅极将离子呈束状引出并加速， 具有一定 能量的离子束进入工作室， 射向固体表面撞击固体表面原子， 使材料原子发生溅 射，达到刻蚀目的，属纯物理过程。 技术指标： 装片：一片六英寸衬底、或 1片四英寸，向下兼容。 抽气速度： 30min由 ATM 到 1.0×10-3Pa 极限真空度： 2×10-4Pa 离子能量： 300eV-400eV ICP 刻蚀机（ OXFORD ICP 180） 背景 : 通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电将其分解， 产生的具有强化学活性 的等离子体在电场的加速作用下移动到样品表面， 对样品表面既进行化学