高真空阀

《机械工程名词 第五分册》第一版。 2100433B

符合高真空技术要求的，主要在该真空区域内使用的一种真空阀。

1.介质为纯净空气或非腐蚀性气体。

2.介质温度由使用橡胶的极端温度所决定。

选用真空阀门要考虑的因素(依据)

1.根据工作压力有低真空阀门、高真空阀门和超高真空阀门。

2.根据结构特点有挡板阀、插板阀、蝶阀、球阀、隔膜阀、角阀、直通阀、三通阀。

3.根据传动原理有手动、气动、电动、电磁。一般气动是电磁先导、气缸执行动作的过程，也可用手控制先导阀气缸执行动作的过程。电动为手、电两用，当停电时可用手动进行操作。

4.根据材料有不锈钢、碳钢、铝合金为主体材料的阀门。

5.根据动密封的材料也可分金属密封和非金属密封阀门。轴封用O形橡胶圈一般真空动密封的漏率为10-4Pa.L/S，在轴运动过程中真空度不高，可用于要求不高的高真空条件下使用；轴封为金属波纹管密封，其漏率为10-7Pa.L/S,适用于超高真空条件下使用。

真空镀膜机电控柜操作

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源。

3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。

真空镀膜机DEF-6B操作

1. 总电源。

2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

真空镀膜机关机顺序

1. 关高真空表头、关分子泵。

2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3. 到50以下时，再关维持泵。

消除系统油蒸气返流的具体措施：

(1)加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。

(2)通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。

(3)改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至最佳功率，避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。

(4)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。

(5)选用优质的扩散泵工作液。