电子行业超纯水设备工艺简介

电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中，往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话，会影响到后续工艺的处理效果和使用寿命。在光伏行业电子管生产中，如其中混入杂质，就会影响电子的发射，进而影响电子管的放大性能及寿命，在显像管和阴极射线管生产中，其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质，如其配制纯水中含铜在8ppb以上，就会引起发光变色;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪动并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品。

集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

1、采用离子交换方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点

2、采用两级反渗透方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机（反渗透膜表面带正电荷）→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

3、采用高效反渗透加EDI方式，其流程如下（最新工艺性价比最高）：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

制备电子工业超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

第一种采用传统的离子交换树脂其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

第二种采用反渗透 离子交换设备，其特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高，但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是比较经济与流行的一种工艺。

第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水最先进，最环保的的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式过于昂贵。

电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

电子行业超纯水设备主要应用

1. 大规模集成电路元器件的生产用水，一般电阻率均大于18MO-CM。按国家有关用水标准(GB/T11446.1-1997)执行。

2. 电子元件厂，在焊接和组装过程中的冲洗用水。依据电子元件生产工艺不同，其用水标准中(即GB/T11446.1-1997)有可为四级(一级最高电导率18MO-CM以上，二级电阻率不低于15MO-CM，3级电阻率12MO-CM, 4级为0.5MO-CM)。

电子行业超纯水设备技术特征

制取电子级超纯水

可连续自动生产，不必停机再生

出水水质优于常规离子交换法

不需酸碱再生，不污染环境

运行成本低，占地面积小

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

3、实验室和中试车间用超纯水;

4、汽车、家电表面抛光处理;

5、光电子产品;

6、其他高科技精微产品。

◎通常为单级反渗透或二级反渗透的渗透水。

◎TEA(总可交换阴离子，以CaCO3计)：<25ppm。

◎电导率：<40μS/cm。

◎PH：6.0～9.0。当总硬度低于0.1ppm时，EDI最佳工作的pH范围为8.0～9.0。

◎温度： 5～35℃。

◎进水压力：<4bar(60psi)。

◎硬度：(以CaCO3计)：<1.0ppm。

◎有机物( TOC)：<0.5ppm。

◎氧化剂：Cl2<0.05ppm，O3<0.02ppm。

◎变价金属： Fe<0.01ppm，Mn<0.02ppm。

◎H2S：<0.01ppm。

◎二氧化硅：<0.5ppm。

◎色度：<5APHA。

◎二氧化碳的总量：<10ppm

◎ SDI 15min：<1.0。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司水处理设备

多种型号规格的反渗透净水设备，超滤设备，电子行业超纯水设备，实验室超纯水设备，锅炉软化水处理设备，EDI超纯水装置，煤矿矿井净水设备，除铁锰设备，可定制加工。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司耗材配件

1、反渗透膜、纳滤膜、海水膜、苦咸水膜、抗污染膜：原装进口意大利奥纯麦芮、韩国熊津世韩

2、PP棉滤芯/PP带骨架滤芯不

3、锈钢过滤器，玻璃钢过滤器

4、膜壳（不锈钢、玻璃钢）

5、水处理药剂（阻垢剂、聚合氯化铝）水

6、泵（高压泵、增压泵、变频泵）

7、水处理滤料（石英砂、活性炭、纤维球滤料、阴树脂、阳树脂、抛光树脂）

8、中空纤维超滤膜9、计量泵，流量计，等其他配件，种类齐全，货源充足。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司反渗透净水设备

RO（Reverse Osmosis）反渗透技术是利用压力表差为动力的膜分离过滤技术，源于美国二十世纪六十年代宇航科技的研究，后逐渐转化为民用，目前已广泛运用于科研、医药、食品、饮料、海水淡化等领域。

RO反渗透膜孔径小至纳米级（1纳米=10-9米），在一定的压力下，H2O分子可以通过RO膜，而源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质无法通过RO膜，从而使可以透过的纯水和无法透过的浓缩水严格区分开来。

应用范围：太空水、纯净水、蒸馏水等制备； 酒类制造及降度用水； 医药、电子等行业用水的前期制备； 化工工艺的浓缩、分离、提纯及配水制备； 锅炉补给水除盐软水； 海水、苦咸水淡化； 造纸、电镀、印染等行业用水及废水处理。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司超滤设备

工作原理：

超滤是一种以筛分为分离原理，以压力为推动力的膜分离过程，过滤精度在0.005-0.01μm范围内， 可有效去除水中的微粒、胶体、细菌、热源及高分子有机物质。可广泛应用于物质的分离、浓缩、提纯。超滤过程无相转化，常温下操作，对热敏性物质的分离尤为适宜，并具有良好的耐温、耐酸碱和耐氧化性能，能在60℃ 以下，pH为2-11的条件下长期连续使用。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司电子行业超纯水设备

设备特点

电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司实验室超纯水设备

设备原理

通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。预处理的目的主要是使原水达到反渗透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及100%微生物(理论上)最经济高效的纯化方法。超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的最终水质指标要求。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司锅炉软化水处理

该设备通过强酸性阳离子交换树脂去除自来水中的钙、镁等构成硬度的离子，并从根本上去除了硬度离子在水中的存在。彻底有效的解决了生产中设备结垢的问题，以达到设备的安全、清洁、高效运行效果。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司EDI超纯水装置

工作原理

EDI模块将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。EDI模块中将一定数量的EDI单元间用格板隔开，形成浓水室和淡水室。又在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。而通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水. EDI设备一般以二级反渗透(RO)纯水作为EDI给水。RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI纯水电阻率可以高达18 MΩ.cm(25℃)，但是根据去离子水用途和系统配置设置，EDI超纯水适用于制备电阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的纯水。

EDI技术被制药工业、微电子工业、发电工业和实验室所普遍接受。在表面清洗、表面涂装、电解工业和化工工业的应用也日趋广泛。

优点：水质稳定、容易实现全自动控制、不会因再生而停机、不需化学再生、运行费用低、厂房面积小、无污水排放。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司煤矿矿井净水设备

许多煤矿矿井水中除含有以煤屑为主的悬浮物外，溶解性总固体、总硬度、硫酸盐、氯化物、氟化物等的含量也比较高，必须进行处理后才能作为煤矿生活用水和生产用水。不同的矿井水中离子含量各不相同的，不能简单套用常规算来水制纯净水的反渗透技术，必须根据某一特定煤矿的矿井水的水质特点，通过模拟试验采用相应的处理技术和工艺参数。

天滢公司结合新疆矿区分布的高苦咸水地区的水质情况开发的矿井水深度处理技术，可将矿井水深度处理后作为煤矿生活生活用水，食堂用水、锅炉用水和其它工业用水。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司除铁除锰设备

用于地下水、河水、井水、自来水中去除重金属等　本设备能去除水中高达99%的氯、98%的重金属，如Fe、Pb、Mn、Cd、Ce、Ag、Ar、Al 、Se、Cu、Hg。另外，借助沉淀在KDF介质上发生的氧化还原反应，还可以降低水中碳酸盐、硝酸盐和硫酸盐含量，减少结垢物质，去除硫化氢、二价铁、去除砷、氟、杀菌灭藻等。除铁锰过滤器

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司苦咸水淡化设备

苦咸水淡化设备，适用于高盐碱地区和海水倒灌地域，采用反渗透膜元件，优质的压力容器，及高压泵，配合合理的预处理设备，能有效地去除水中的无机盐、重金属离子、有机物、细菌及病菌等有害成分，将苦咸水淡化为符合国家生活饮用水标准的优质水。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司中水回用

中水系统从服务范围可分为以下三类。

（1）建筑中水系统，是在大型建筑物或建筑群中建立的中水系统；

（2）区域中水系统，是在建筑小区或院校、机关大院内建立的中水系统；

（3）城市中水系统，我国称污水回用系统，是在整个城市规划区内建立的污水回用系统。

中水回用系统 : 将洗浴水 ,洗衣水等生活污水进行处理后进行回用.一般包括宾馆、饭店、大厦的排水回用，生活小区的洗浴水集中处理回用。厂矿企业的洗浴水，冷却水处理回用。处理后的水可用做厕所冲洗水，绿地绿化用水，冲洗汽车及其他用途。中水处理根据处理水质，水量及现场情况分为生化法处理、物化法处理。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司污水处理

1、生活污水是指城市机关、学校和居民在日常生活中产生的废水，包括厕所粪尿、洗衣洗澡水、厨房等家庭排水以及商业、医院和游乐场所的排水等。

2、医院污水中含有一些特殊的污染物，如药物、消毒剂、诊断用剂、洗涤剂，以及大量病原性微生物、寄生虫卵及各种病毒，如蛔虫卵、肝炎病毒、结核菌和痢疾菌等　主要来自门诊、住院部、供应室、洗衣班等处的工作、生活、粪便污水，通过单独排水系统———化粪池、下水道系统，汇集到污水站集水池，经污水处理装置处理排出。

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司不锈钢水箱

1、不锈钢水箱一般采用SUS304材质的不锈钢板材,物理化学性质稳定，对水质无污染，保证水质清洁卫生。

2、不锈钢水箱冲压成型,强度高、重量轻、外型整洁、美观高雅。

3、水箱板一般采用高镍8.0以上3042B板,表面光洁美观、易清洗。

4、由于表面有致密氧化层,耐腐蚀性能优越，密封性能好。

5、抗冲击性能大，抗震性能强

乌鲁木齐天滢水处理设备工程有限公司反渗透膜

意大利奥纯麦芮反渗透膜系列

LOW系列（超低压高通量）：

LOW1-4040、LOW1-8040

该膜元件主要针对中等含盐量的地表水、地下水等水源，它能在较低的操作压力条件下达到高水通量，且在相同的运行条件下，具有最高的脱盐率，脱盐率可达99.3%。因为操作压力低，产水量高，脱盐率高，所以LOW1系列膜元件具有很高的经济效益。

LOW1系列膜元件适用于含盐量1000ppm以下的地表水、地下水、自来水、市政用水等满足生活饮用水源的脱盐水处理，主要应用进水水温低的季节或地区，可获得更高的产水量。

主要用途：饮料用水、纯净水生产、锅炉补给水、食品加工和药品生产用水。

LOW2-4040、LOW2-8040

该膜元件主要针对的水源是低含盐量到中等含盐量的地表水、地下水等水源，它能在极低的操作压力条件下达到和常规低压膜同样的高水通量和高脱盐率。其运行压力约为常规低压复合膜运行压力的2/3，脱盐率可达99.6%。因为操作压力低，产水量高，脱盐率高，所以经济效益明显。

LOW2系列膜元件适用于含盐量2000ppm以下的地表水、地下水、自来水、市政用水等满足生活饮用水源的脱盐水处理，主要应用进水水温低的季节或地区，可获得更多的产水量。

主要用途：饮料用水、纯净水生产、锅炉补给水、食品加工和药品生产用水。

BR系列（苦咸水）：

BR2-4040、BR2-8040 、BR3-4040、BR3-8040

该膜元件适用于含盐量5000ppm以下的井水、地表水的水源的苦咸水淡化、脱盐处理，饮用水净化、离子交换系统前的预脱盐、具有运行压力低、除盐性能好、不易污堵、技术性能稳定、产水水质好、产水量高、抗污染性好等特点，主要应用于各种规模的工业用纯水、发电厂锅炉补给水等各类工业用水，也可用于高浓度含盐废水、饮料水制造等苦咸水应用领域。

主要用途：苦咸水脱盐、超纯水的制备、电厂锅炉补给水处理、工业用水。

SEA系列（海水淡化）：

SEA1-4040、SEA2-4040、SEA5-4040、SEA5-8040

适用于海上和陆地安装的反渗透膜元件。它具有高耐压力（最高达6.9mpa），运行成本低，除盐性能好，脱盐效果稳定等特点。可保证在搞回收率的条件下从海水中获取饮用水。

应用范围：海水海水淡化、高浓度苦咸水、工业水处理、废水再利用

FOUL系列（抗污染）：

FOUL1-4040、FOUL1-8040

专门针对高盐度、污染度高的给水研发设计。通过对进水格网，脱盐层，进水端板，进水留到等方面独特设计，使FOUL系列反渗透膜具有更高的抗污染性，耐久性。有效膜面积400ft（37.2㎡），脱盐率最高可达99.5%，最低脱盐率99.2%。

应用范围：城市污水和工业废水的再生利用，以及微污染的地表水的拖延、冷却循环排污水的回用。