电容探针(头)法

四探针法通常用来测量半导体的电阻率。四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要校准;有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法校准。

与四探针法相比，传统的二探针法更方便些，因为它只需要操作两个探针，但是处理二探针法得到的数据却很复杂。如图一，电阻两端有两个探针接触，每个接触点既测量电阻两端的电流值，也测量了电阻两端的电压值。我们希望确定所测量的电阻器的电阻值，总电阻值:

RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;

其中RW是导线电阻，RC是接触电阻，RDUT是所要测量的电阻器的电阻，显然用这种方法不能确定RDUT的值。矫正的办法就是使用四点接触法，即四探针法。如图二，电流的路径与图一中相同，但是测量电压使用的是另外两个接触点。尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压，但由于电压计的内阻很大，通过电压计的电流非常小，因此，导线电压与接触电压可以忽略不计，测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值。

通过采用四探针法取代二探针法，尽管电流所走的路径是一样的，但由于消除掉了寄生压降，使得测量变得精确了。四探针法在Lord Kelvin使用之后，变得十分普及，命名为四探针法。

探针台从操作上来区分有:手动，半自动，全自动

从功能上来区分有:温控探针台，真空探针台(超低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台

根据客户需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)

X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)

chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离

显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)

显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)

探针座:有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关

可搭配Probe card测试

适用领域:晶圆厂、研究所、高校等

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y电动移动行程200mm/150mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm

可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数6~8颗

显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"

可搭配Probe card测试

适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不锈钢或镀金)

X,Y电动移动行程300mm x 300mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数8~12颗

显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"

材质:花岗岩台面+不锈钢

可搭配Probe card测试

适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品

机械手臂取放片

电动、键入坐标寻位置

量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

白炽灯或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量测分析

机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

高频测试探头GSG / GS / SG

频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

机台尺寸同LCD 探针台

量测软体:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太阳光模拟器