电容式位移传感器

主要用于解决下述各种测量问题：

压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

量程：20～1250μm；

分辨率：<0.1nm；零磁滞；

线性最高0.02%；

频带可调：50～5000Hz；

灵敏度可调：5～125μm/V；

真空兼容选项；

非接触式测量方法；

具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

电容式位移传感器的电容器极板多为金属材料，极板间衬物多为无机材料，如空气、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作，尤其是解决高温高压环境下的检测难题。

该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连，在线、连续、实时的检测各种数据然后直接显示，远程控制和报警。实现数据存储，积算、传输和控制功能。广泛应用于各种注塑机中。

电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。

电涡流位移传感器

分辨率：电涡流传感器的分辨率最高也可达到0.1um，与激光位移传感器基本相当

线性度：电涡流传感器的线性度一般较低，为量程的1%左右，高端激光位移传感器则一般为0.1%

测量条件：电涡流传感器要求被测体为导体而且非导磁，即不导磁的导体，例如铝、铜等，铁则不行；激光位移传感器则对无论被测体是否导磁、是否导电都能测。

电容位移传感器

电容式位移传感器精度非常高，远高于激光位移传感器，但是电容位移传感器的量程很小一般小于1mm，激光位移传感器的量程最大可做到2m。

光纤位移传感器

光纤位移传感器的测量原理为通过测量物体因位移导致其表面反射回来的光通量和光强度的变化来测量物体的位移情况，其探头由发射光纤和接收光纤两部分组成。对于尺寸很小的物体的位移和振动情况，常规的非接触式位移传感器收到反射面积的限制导致测量效果不是很理想，而光纤位移传感器则可以做成很小的探头（最小0.2mm直径），此外还可以做成直线发射和接收的形式，通过测量物体在位移过程中对光纤的遮挡程度来计算位移的数值，精度可达0.01um，量程最大4mm。