电容式加速度传感器传感器的定义

LCC封装

测量范围可定制

优异的偏差稳定性

低模拟电压输出

高抗冲击性能

集成温度传感器

过电保护

应用领域:

█惯性测量:航天;航空与制导

█倾斜测量:运输;仪器仪表;钻探

█振动测量:地震测量;数据记录仪

技术指标

</strong>参数

单位

MS9002.

MS9010

MS9030

MS9050.

MS910D.

MS9250.

全部测量范围

g

±2g

±10g

±30g

±50g

±100g

±250g

封装

LCC20(,8.9mmx8.9mm/0.35inchx0.35inch)

零位校准

mg

<10

<50

<150

<250

<500

<1250

零位稳定性(>48H)

mgtyp.

<0.05

<0.25

<0.75

<1.25

<2.25

<6.25

开/关重复性

mgmax.

<0.15

<0.75

<1.5

<3.8

<7.5

<18.8

零位温度系数

mg/℃typ.

<0.1±

<0.5

<1.5

<2.5

<5

<12.5

mg/℃max.

0.4

±2

±6

±10

±20

±50

比例因子(K1)

mV/g

1000±8

200±2

66.6±1

40±1

20±1

8±1

比例因子温度系数

ppm/℃typ.

100

100

100

100

100

100

min./max.

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

输入轴偏心度(Kp，Ko)

mradmax.

<10

<10

<10

<10

<10

<10

%max

1

1

1

1

1

1

分辨率/阈值(@1Hz)

mgmax.

<0.1

<0.6

<1.7

<2.8

<5.5

<12.5

非线性度

%ofFSmax.

<0.8

<0.9

<0.9

<0.9

<1

<1

gmax.

<0.02

<0.09

<0.27

<0.50

<1

<2.5

带宽

Hz

0~≥100

0~≥100

,

0~≥100

0~≥100

0~≥100

0~≥100

噪声谱密度[0;9kHz]

μV/√Hztyp.

18

18

18

18

18

18

max.

24

24

24

24

24

24

谐振频率

kHz

1.4

3.7

6.3

11

15

26

供电电压

VDC

2.5~5.5VDC,标准的校准电压为5.0VDC

重量

g

<1.5

尺寸

mm

标准值14.2X14.2X3.3mm，最大值14.48X14.48X3.79mm

电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器。电容式加速度传感器/电容式加速度计是对比较通用的加速度传感器。在某些领域无可替代，如安全气囊，手机移动设备等。电容式加速度传感器/电容式加速度计采用了微机电系统（MEMS）工艺，在大量生产时变得经济，从而保证了较低的成本。

学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。