电容式差压传感器

电容式差压传感器的结构如图1所示。将左右对称的不锈钢基座2、3的外侧加工成环状波纹沟槽，饼焊上波纹隔离膜片1、4。基座内侧有玻璃层5，基座和玻璃层中央都有孔。玻璃层内表面磨成凹球面，球面边缘镀以金属膜6，此金属膜层有导线通向外部，为电容的左右定极板。左右对称的上述结构中央夹入并焊接弹性平膜片，即测量膜片7，为电容的中央动极板。测量膜片左右空间被分割成两个室，固有粮食结构之称。

在测量膜片的左右两室中充满硅油，当左右隔离膜片分别承受高压pH和低压pL时，硅油的不可压缩性和流动性便能将差压Δp=pH-pL传递到测量膜片的左右面上。因为测量膜片在焊接前加有预张力，所以当差压Δp=0时十分平整，使得定极板左右两电容的容量完全相等，即CH=CL，电容量的差值为零。在有差压作用时，测量膜片发生变形，也就是动极板向低压极板靠近，同时远离高压测定极板，使得电容CH=CL。

差压传感器在使用中需要注意一些事项比如：被测介质不允许结冰，否则将损伤传感器元件隔离膜片，导致变送器损坏，必要时需对变送器进行温度保护，以防结冰;切勿用高于36V电压加到变送器上，导致变送器损坏;在测量蒸汽或其他高温介质时，其温度不应超过变送器使用时的极限温度，高于变送器使用的极限温度必须使用散热装置;测量蒸汽或其他高温介质时，应使用散热管，使变送器和管道连在一起，并使用管道上的压力传至变压器。当被测介质为水蒸气时，散热管中要注入适量的水，以防过热蒸汽直接与变送器接触，损坏传感器;切勿用硬物碰触膜片，导致隔离膜片损坏等 。

单独的差压传感器使用量不是很多，现在有许多压力传感器既可以测绝压也可以测差压，这就很方便的让客户使用了。相信未来更加没有单独的差压传感器了，差压传感器在和绝压传感器合并在一起。

微差压按照量程标准，低于1MPa的压力量程基本上都归于低位差压。使用范围比较广泛，涉及行业有汽车，医疗，电力，安防，工业控制等等。细分下来主要应用在汽车的胎压监测，进气控制油路喷量，家用医用呼吸机，楼宇消防，中央空调，安全生物柜，风压检测等。