等离子体增强化学气相沉积系统技术指标

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感应耦合式等离子体增强型化学气相沉积系统主要功能

等离子体增强化学气相沉积系统技术指标

（1）极限真空为3×10-4 Pa;在真空室下方设一个气体截流阀，截流阀连续可调，控制反应室的工作气压。衬底可升降200mm，衬底旋转，转速为30～60转/分;基片加热为700±1℃; （2）喷淋头分为三层结构，上部水冷，喷口处要求绝缘;Zn源管可拆卸，便于清洗， Zn源管与O源孔位的加工，必须使布气均匀;四周有石英罩，距样品台边缘距离20-30mm，电离电极侧进口。

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等离子体增强化学气相沉积系统造价信息

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材料名称	规格/型号	市场价（除税）	工程建议价（除税）	品牌	单位	税率	供应商
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-1500 490×380×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-6000 980×760×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-9000 980×1140×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-22500 2000×1500×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-33000 2000×2000×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-3000 490×760×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-4500 980×566×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司
等离子体静电空气净化装置	VBK-Z-7500 980×945×210	查看价格	查看价格	伟一(V1)	台	13%	东莞市伟一环境科技有限公司

材料名称	规格/型号	除税信息价	含税信息价	单位	地区/时间
8000火灾报警系统	64点LED显示面板三卡	查看价格	查看价格	台	湛江市2005年1月信息价
8000火灾报警系统	65点LED显示面板	查看价格	查看价格	台	湛江市2005年1月信息价
三相消防电源监控模块	智能型	查看价格	查看价格	台	韶关市2022年3月信息价
三相消防电源监控模块	智能型	查看价格	查看价格	台	韶关市2021年12月信息价
三相消防电源监控模块	智能型	查看价格	查看价格	台	韶关市2021年11月信息价
三相消防电源监控模块	智能型	查看价格	查看价格	台	韶关市2022年10月信息价
三相消防电源监控模块	智能型	查看价格	查看价格	台	韶关市2022年9月信息价
三相消防电源监控模块	智能型	查看价格	查看价格	台	韶关市2022年7月信息价

材料名称	规格/需求量	报价数	最新报价（元）	供应商	报价地区	最新报价时间
经济技术指标	40层\|04.2m层高	1	查看价格	0	广东佛山市	2009-05-12
等离子体净化装置	1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h\|3台	3	查看价格	北京赛多科贸有限公司	广西贺州市	2021-09-29
等离子体净化装置	1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h\|3台	3	查看价格	北京赛多科贸有限公司	广西贺州市	2021-10-15
电感耦合等离子体质谱仪	参数配置详见附件\|1台	1	查看价格	青岛聚创环保集团有限公司	全国	2020-09-21
等离子体空气净化消毒机	等离子体空气净化消毒机1.型式:等离子体空气净化消毒机2.规格:体积≤60m3\|20只	1	查看价格	广东岑安机电有限公司	广西	2022-07-04
光氢等离子体空气净化消毒机	(1)名称:光氢等离子体空气净化消毒机UVP-20-50(2)规格:风量:8000-14000m3/h功率:20W/220V\|5台	1	查看价格	广东惠恩建筑科技有限公司	全国	2021-05-08
光等离子除臭系统	1、处理气量:11000m3/h 臭氧泄漏量0.05mg/m3,2、含(1套设备壳体1.7m×1.2m×1.2m,δ=1.5mm、50根离子灯λ=185-256nm,BOSO810T5VHU/4PF、50个镇流器SX05-800-2/75U 150W、\|1套	1	查看价格	佛山市绿娃娃环保设备有限公司	全国	2020-05-22
光氢等离子体空气净化消毒机	(1)名称:光氢等离子体空气净化消毒机UVP-20-100(2)规格:风量:14000-26000m3/h功率:20W/220V\|10台	1	查看价格	广东惠恩建筑科技有限公司	全国	2021-05-08

等离子体增强化学气相沉积系统主要功能

薄膜材料。

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等离子体增强化学气相沉积系统技术指标常见问题

低温等离子体的技术开发

国内外企业利用低温等离子体技术在环保方面开发出了“低温等离子体有机废气净化设备”、“低温等离子体废水净化设备”及“低温等离子体汽车尾气净化技术”。1、低温等离子体在保鲜、杀菌、除臭等方面产品开发，目前...
低温等离子体技术是什么？

低温等离子体物理与技术经历了一个由60年代初的空间等离子体研究向80年代和90年代以材料为导向研究领域的大转变，高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等，为低温等离子体科学发展带来了新的机遇和...
什么是等离子体膜

等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同，它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构，从而具有良好的均匀性及对基质的附着性［1，2］．有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多［3，4］，本室已...

等离子体增强化学气相沉积系统技术指标文献

气相沉积

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页数： 1页

评分： 4.5

气相沉积

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过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传…

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大小：423KB

页数： 5页

评分： 4.5

介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究,实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高,过滤管道的传输效率越高,但聚焦磁场高过一定阈值时,会出现起弧不稳现象,此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关,过滤管道正偏压在40￣60V范围内,管道磁场在7￣11mT时传输效率较高,偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高。

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