单晶炉多晶铸锭炉产品简介

GTM-450/550型多晶铸锭炉

GTM-450/550型多晶硅铸锭炉融合了多种当代新技术，装料量大，能大幅提升产能。

由于采用独特的陶瓷纤维 石墨硬毡双重安全防护设计并有自动漏硅感应系统，可及时启动漏硅应急措施。其卓越的安全性能，能大大降低事故隐患。

高性能的加热系统，能保证结晶过程中硅材料的均匀性和一致性。

运行过程采用PLC控制以及具有高速微处理器的检测与处理元件，动态检测，高速响应，实现了全过程自动控制和数据交换，具有安全高效、稳定可靠、抗干扰性好、可靠性高等优势。其控制系统还配备了单相UPS装置，可有效减少瞬时断电所带来的损失。

硅多晶铸锭炉是生产太阳能光伏发电领域的重要生产设备。GTM-450/550型是通过引进德国技术，针对太阳能电池市场需求而开发的高性能多晶硅铸锭设备。

硅单晶生长设备TDR-90型、TDR-95型

TDR-90型和TDR-95型单晶炉均是采用直拉（CZ）法生长法的单晶生长设备,即软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体环境中以石墨电阻加热器加热,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备.它可生产大规模集成电路所需要的高质量单晶.TDR-90单晶生长设备采用的是18-22英寸的热系统,TDR-95采用的是22寸热场，TDR-90型熔料量为90kg,拉制6~8英寸的单晶，TDR-95型熔料量为100kg，拉制6~8英寸的单晶。

——采用高精度减速装置，运行稳定，传动比准确

——磁流体密封，保证了运动部件的高密封性

——CCD测径控制，伊尔根测径控制，为用户提供了多种选择。

——安全防爆阀设计，为设备的安全使用提供了保障

——高精度大功率加热系统。

――成品率：≥70%2100433B

宏业新能源关注企业的可持续发展，将以严谨的管理、超卓的设备，着力打造民族品牌。我们着意于激情奔放、进取不息的精神，以兼容并蓄、博采众长的虚怀，构建宏业文化。我们始终恪守“质量第一，诚信经营，开拓创新，合作共赢”的企业理念。目标是在新能源领域以最前沿核心技术成为国内光伏产业中的领军企业，为中国光伏产业在世界范围内的影响力做出贡献。愿与国内外企业同仁开展广泛的交流与合作，共创美好的未来。热烈欢迎社会各界朋友，新老客户莅临指导，洽谈业务。

熔炼容量：10-300KG 电源功率：50-400KW 升温速率：40℃/Min 炉温均匀性：±5℃ 极限真空度：6.67×10-2Pa 压升率： 0.01PaL/S 额定充气压力：0.05Mpa 铸锭方式：下降定向凝固 伺服控制范围：0.01mm-6mm/Min 定向凝固速率：0.03mm-0.5mm/Min 坩埚上升速度：80-100 mm/Min。

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

购买技术主要要求

1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度） 5设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。

单晶炉型号定义

单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的

单晶炉主要需要控制的方面

一、晶体直径（尺寸）

二、温度（功率控制）

三、原料（硅料）

四、泄漏率，氩气质量等

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单晶炉热场的设计与仿真

单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期，一定要根据生长设备，配置出最合理的热场，从而保证生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中，实验与数值仿真是相辅相成的，其过程可以分为两个部分：

（1）在第一阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数值模拟参数的调整。

（2）在第二阶段,利用数值模拟是用来确定最佳的晶体生长工艺参数。

数值仿真是用来获得廉价的，完整的和全面细节的结晶过程，以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。数值模拟是当实验的费用太昂贵或无法常规进行时一种非常有用或必不可少的方法。举例来说，对于无经验人员，可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径，质量要求的最好办法。面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算，优化设计单晶炉的机械结构，在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线，就可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶棒。