电感耦合等离子体刻蚀机
电感耦合等离子体刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2014年6月24日启用。
电感耦合等离子体刻蚀机基本信息
| 中文名 | 电感耦合等离子体刻蚀机 | 产 地 | 英国 |
|---|---|---|---|
| 学科领域 | 电子与通信技术 | 启用日期 | 2014年6月24日 |
| 所属类别 | 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备 | ||
氧化硅、氮化硅介质与氮化钛金属刻蚀。
电感耦合等离子体刻蚀机造价信息
Model type: Plasmalab 100-ICP180; Frequency: 50Hz； Rated Voltage：415 VAC 3 Max Rated Input Current：42Amps interrupt Current: 6KA。
电感耦合等离子体刻蚀机常见问题
-
等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同，它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构，从而具有良好的均匀性及对基质的附着性［1，2］．有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多［3，4］，本室已...
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等离子体又叫做“电浆”，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质 在人工生成等离子体的方法中，气体放电法比加热的办法更加简便高效，如荧光灯、霓虹灯、电弧焊、电晕放电...
-
低温等离子体：适合的应用材料的表面清洗活化焊接，油漆，打印，密封，起泡，涂覆及硅化前表面活化处理。气体裂解和高效灭菌加速化学反应产品特点：突破低气压限制，可在大气压下引发等离子体；可对材料连续在线处理...
电感耦合等离子体刻蚀机文献
等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法
等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法——叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法。对燃烧分解、化学中和、 薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述。指出等离子体净化和脉冲电晕放电是净化有害气体的...
电感耦合等离子体-质谱法测定食品中的总铬
食品样品使用微波消解处理后,选用质量数相近的钪(Sc)作为内标,使用电感耦合等离子体-质谱仪测定总铬含量。在0—150μg/L范围内,仪器响应值与总铬含量呈线性关系,线性方程为I=0.0429C,相关系数r=0.9998,检出限为0.022mg/kg,相对标准偏差(n=6)为4.58%,加标回收率在97.6%—104%之间。
若两个线圈的磁场存在相互作用，则称这两个线圈磁耦合。如表1所示为具有磁耦合的两个线圈，线圈1和2的匝数分别为
ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer)电感耦合等离子光谱发生仪，电感耦合等离子体(ICP)是用于原子发射光谱的主要光源。ICP具有环形结构、温度高、电子密度高、惰性气氛等特点，用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等分析性能。
- 中文名
- ICP
- 外文名
- Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer
- 意义
- 电感耦合等离子光谱发生仪
- 方法
- 用于原子发射光谱的主要光源
ICP还可以作为原子化器，如以空心阴极灯为光源，ICP为原子化器的原子荧光光谱仪.这类仪器不采用单色器，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统.ICP作为原子化器最大的优点在于原子化器具有很高的温度，多种元素都可得到很好地原子化，散射问题也得到克服.由计算机控制，灯电源顺序地向各检测单元的空心阴极灯供电(2,000次/秒),所产生的荧光由相应的光电倍增管检测，光电转换后的电信号在放大后由计算机处理，并报出各元素的分析结果.不过，值得提出的是，以ICP为原子化器的原子荧光光谱仪对难溶元素的测定灵敏度不高.2100433B
耦合电感时域形式
设线圈上
耦合电感频域形式
在正弦稳态电路中，式(4)可写为
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