电感耦合等离子刻蚀机

TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的维 修及调整 TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的电路图如下： 各部分电路的作用， DC Power Supply Board 板是一块电源板提供射频源 工作所需的各路电源，包括电子管工作的高低压。 OSICLACTOR Board 板提供 射频源的激励信号， Q1是震荡管，Q4是推动管，Q3,Q2组成脉宽功率调节电路。 V1和 V2是两个输出电子管，提供所需的射频功率。其中 Lv 是低压变压器，机 器一通电，该变压器就被通电。而 BV 是高压变压器，只有在需要射频输出时才 被通电。 Power Coupler 是入射功率和反射功率检测模块。主机背面的电位器 R5 和 R6 用于矫正入射和反射功率的偏差。 Test Port 测试端口用于检测射频电 源的工作参数。 射频电源的调整 射频电源调整的步骤如下： 1. 关闭交流电源。 2. 移除射频电源

目的建立电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)检测尿铅同位素比值的测定方法。方法取10 ml尿样用浓硝酸及30%过氧化氢消解赶酸后用1%硝酸定容至5 ml测定;利用铅同位素标准物质(GBW04426)测定铅同位素比值校正系数,将铅同位素标准参考物NIST SRM981同样品一起经ICP-MS检测。结果优化检测方法后进行尿铅同位素检测,NIST SRM981同位素测定精密度RSD(204Pb/206Pb)<2%、RSD(207Pb/206Pb)<1%、RSD(208Pb/206Pb)<1%,NIST SRM981检测结果与证书值接近。结论该方法方便简捷、数据可靠,可满足尿铅同位素的测定。